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反変色のコーティング分野のマグネトロンの放出させる沈殿
適用
| 適用 | 特定の目的 | 物質的なタイプ |
| 反変色のコーティング | 貴金属のanti-oxidationのコーティング | Al2O3、TiO2 |
働き主義
電子は多数のアルゴン イオンをにイオン化する動きプロセスのアルゴン原子と絶えず衝突する
ターゲットを衝撃しなさい。多数衝突の後で、電子のエネルギーは次第に減る。電子は壊れる
磁気電気力線の制限から、基質のターゲットおよび最終的に沈殿物から保ちなさい。
特徴
| モデル | MSC-ADC-X-X |
| コーティングのタイプ | メタル・フィルム、金属酸化物およびAINのようなさまざまな誘電性のフィルム |
| コーティングの温度較差 | 500℃への正常な温度 |
| コーティングの真空槽のサイズ | 700mm*750mm*700mm （カスタマイズ可能） |
| 背景の真空 | < 5="">-7mbar |
| コーティング厚さ | ≥ 10nm |
| 厚み制御の精密 | ≤ ±3% |
| 最高のコーティングのサイズ | ≥ 100mm （カスタマイズ可能な） |
| フィルム厚さの均等性 | ≤ ±0.5% |
| 基質のキャリア | 惑星の回転メカニズムを使って |
| 目標資料 | 4×4インチ（4インチと互換性があり、下の） |
| 電源 | およびバイアスが任意なら、DCの脈拍、RFのような電源 |
| プロセス ガス | ArのN2、O2 |
| 注:利用できるカスタマイズされた生産。 | |
コーティングのサンプル
プロセス ステップ
→は真空槽にコーティングのための基質を置く;
→は大体vacuumize;
→は分子ポンプで回ったり、全速力でvacuumize、そして回転および回転で回る;
温度がターゲットに達するまで真空槽を熱する→;
→は一定した温度調整を実行する;
→は要素をきれいにする;
→は起源に戻って回転し、;
プロセス条件に従う→のコーティングのフィルム;
→は低温を、コーティングの後でポンプ アセンブリを停止する;
→は自動操作が終了するとき働くことを止める。
私達の利点
私達は製造業者である。
成長したプロセス。
24就業時間以内の応答。
私達のISOの証明
私達のパテントの部分
私達の賞の部分およびR & Dの資格
