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よく軽い伝送の6インチのサファイアの基質
製品の説明
サファイア ガラスの化学成分は結晶構造の六角形の格子が付いているアルミナ、である。サファイアはガリウム窒化物(GaN)のエピタキシアル成長のための一般的な基質材料である。それに高温、優秀な光学性能で超高度の硬度、安定した物理的な、化学特性がある。
技術仕様
特性 | 単位 | 6インチの基質 |
直径 | mm | 150.1±0.1 |
平らな長さ | mm | 47.5±1 |
材料 | 高い純度およびモノクリスタルAL2O3 | |
表面の水晶オリエンテーション | C平面0°±0.1° | |
第一次平らなオリエンテーション | 平面0°±0.5° | |
壊された端 | ≤3mm | |
ひび | 割れること | |
欠陥 | Wrappage、対の水晶か水晶境界無し | |
EPD | <1000/cmの² |
性能の研究
semi-polarおよび無極性のGaNはM平面<1-100>andのR平面<1-102>のようなある特別機が付いているサファイアの基質で育てることができる。semi-polarおよび無極性のGaNにLED装置の装置下垂の効果、波長の転位現象および長波長バンド効率を改善する良い業績がある。調査は多層AlGaN、またはSiを使用することを用いる高温AlNの核形成の層およびより高いAlGaNの成長の温度、または緩衝層を使用して技術を添加することが効果的にサファイアの基質で育つAlGaNのsemi-polarおよび無極性の薄膜の水晶質そして転位密度を改善できることを示した。