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ボートまたはキャリアとしても知られるウエファーボートは,ウエファーを保持,転送,位置付けするための半導体製造における重要なツールです.高温 (>1000°C) などの極端な条件に耐えるように設計されている化学腐食や静電放出 (ESD) を防止し,様々なプロセス中にウエファーの安全性を確保します.
原則
わかったアライナインメント&固定:
ボート上の位置付け穴は,ウェーファーカセットのピンと並んでおり,手動操作なしでバッチ転送が可能になります.
二層スロット (上と下) 熱循環 (火焼など) の際にホイールを固定する.
わかった熱ストレスの管理:
低熱膨張材料 (0.5×10−6/°C) は 温度変動下で曲線を最小限に抑える.
蜂蜜の巣構造は 熱圧を均等に分配します
プロセスの互換性:
スロット幾何学 (例えば,I型,V型) は,ガス相反応剤の流れを保証しながら,異なるウェーファー厚さ (300~800μm) を容認する.
ダイヤの形状の横断は 双方向ロボットロードを可能にします 処理量を向上させます
安全・保護
バッファコンポーネント (スプリング,ゴムパッド) は,ウエーファーを配置する際に機械的な衝撃を吸収する.
窒素 浄化 は 残留 物質 を 除去 し,汚染 を 防ぐ
特徴
溶融シリカガラスは,二酸化シリコン (SiO2) から作られた特殊産業用ガラスである.優れた物理的および化学的特性を持つ例外的な基礎材料として機能する.
軟化点: ~1730°C
1100~1250°Cで連続して動作し 1450°Cまでの短期間の暴露に耐える.
ほとんどの酸に耐性がある (フッ素酸を除く).
耐腐蝕性は陶器より30倍 高く ステンレス鋼より150倍高くなっています
極端な熱条件下で安定性を維持し,他の材料を上回る.
熱膨張係数が非常に低い (~5.5×10−7/°C).
熱ショックに耐える (例えば,1100°Cまで加熱して水で消化する).
紫外線 (UV) から赤外線 (IR) への広範囲スペクトル伝達
可視光伝達性:>95%.
紫外線伝達性は185~250nm範囲で>85%でピークに達する.
通常のガラスより1万倍強い
高温でも優れた介電性がある
