Add to Cart
製品紹介
サファイアリフトピン (Sapphire lift pin) は,高純度単結サファイアから作られたリフトピンで,主に半導体製造機器で,ウエファーを支え,移動するために使用される.ザファイア の 優れた 高温 耐性 に ምስጋና化学的安定性や極度の硬さにより,サファイアリフトピンが厳しい環境でも安定した性能を維持できます.サファイアリフトピンを使用すると,ウエファー汚染のリスクが大幅に減少します.装置の寿命を延長する処理の総生産性を向上させる.
基本 原則
サファイアリフトピンの基本原理は,処理中にワッフルを正確に上げたり下げたりして,適切な位置付けを確保することです.多重 の ザファイア の 引き上げ ピン は,通常,ワッフル の 歪み や 破損 を 防止 する ため に 一緒 に 動作 するサファイアリフトピンが高温,真空,腐食性のある環境に耐えるため,従来の材料よりも長い使用寿命と高い信頼性があります.
仕様
| ポイント | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | シングル クリスタル サファイア |
| サイズ | カスタマイズ |
| 表面の荒さ | Ra ≤ 0.02μm |
| 作業温度 | >2000°C |
| 熱膨張係数 | 5.8 × 10−6 /°C |
| 折りたたみ力 | ≥400 MPa |
| 透明性 | 目に見える範囲で高い伝達力 |
| 耐腐食性 | すごい |
| トップ形 | 平らで丸い 角型 |
| マウント | メカニカル・スレッド |
申請
サファイアリフトピンは,エッチ (Etch),化学蒸気堆積 (CVD),物理蒸気堆積 (PVD),原子層堆積 (ALD) の機器に広く使用されています.そして冷却特に光電子機器,MEMS生産,電力半導体製造において,サファイアリフトピンはコア部品になりました.
Q&A
Q1: なぜセラミックや金属ではなく ザファイアリフトピンを選んだのか?
A1: サファイアリフトピンは,化学的耐性や熱安定性が高く,腐食性ガスや高温環境で長期にわたって動作できる.
Q2: サファイアリフトピンは使用中に粒子を発生させますか?
A2: 非常に滑らかな表面があるため,サファイアリフトピンは粒子の生成のリスクが非常に低いため,超清潔なプロセスに最適です.
Q3: 異なる機械にはカスタムなサファイアリフトピンが必要ですか?
A3: はい,機械のモデルとプロセス要件に応じて,サファイアリフトピンは,サイズ,形状,接続インターフェイスでカスタマイズする必要があります.
関連製品
