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SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD
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8/6/4/2インチ LPCVD酸化炉 完全自動化 低酸素制御 薄膜堆積
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8/6/4/2インチ LPCVD酸化炉 完全自動化 低酸素制御 薄膜堆積
製品の詳細
製品概要 この装置は,大量生産のために設計された高効率で完全に自動化された8インチ垂直酸化LPCVDオーブンです.それは優れたフィルム均一性と繰り返し性を提供します.様々な酸化を支えるこのシステムは,半導体製造に理想的なシームレスMES統合の21カセットの自動転送を備えています. 作業原理 オーブン...
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