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6インチPOD /8インチPOD /FOSB ((光ファイバースプライスボックス) /配送ボックス/ストレージボックス /RSP ((リモートサービスプラットフォーム) /FOUP ((フロントオープニングユニファイドポッド)
商品の特徴
6インチPOD
SEMI 規格に準拠する
標準型とクレーン型で利用可能
8インチSMIF機械インターフェイスと互換性,オンラインで6インチ&6.3インチカセットとマッチ
落下防止設計で最適化されたハンドル構造
プロセスの管理のために利用可能な複数の色オプション
6インチ複合半導体PODソリューション
透明かオレンジ色の箱のオプション
8インチPOD
SEMI 規格に準拠する
標準型とクレーン型で利用可能
多くの実用的な応用事例
透明かオレンジ色の箱のオプション
カスタマイズオプションがサポートされています
プロセスの管理のために利用可能な複数の色オプション
製品信頼性を著しく向上させる
FOSB (光ファイバースプライスボックス)
SEMI 規格に準拠する
ウェッファー輸送のためのクリーンな環境を提供します
容量: 25 PCS
高度に互換性があり,様々な機器に適しています
超清潔な材料で作る
配達箱
8インチワッフル輸送用に設計された
輸送箱の一般的な種類をカバーする幅広い製品範囲
FAB の広範な応用例
貯蔵箱
6インチおよび8インチマニュアルラインカセットの移動および保管に適している
効率的な操作のために両側からエルゴノミックなハンドル設計
選択可能な透明な上蓋
FAB の広範な応用例
RSP (遠隔サービスプラットフォーム)
SEMI 規格に準拠する
N2浄化と非浄化の両方の構成をサポート
優れた気密性能
複数の特許デザイン
広範囲なアプリケーション参照
FOUP ((フロントオープン統一ポッド)
SEMI 規格に準拠する
PCと水に耐える材料で入手可能
容量オプション: 25 pcs または 13 pcs
大量配送をサポートします
複数の特許デザインを備えています
優れた膨張と気密性能
互換性設計により,他のブランドとの混合使用が可能
多機能のオプションで様々なアプリケーションをサポートする
Q&A
Q: その通りPOD (プロセスの開/閉装置) とは何か?
A: その通りPOD (Process Open/Close Device) is a specialized container used in semiconductor manufacturing and microfabrication processes to safely store and transport wafers (typically silicon or sapphire) between different stages of production in a cleanroom environment自動処理プロセス中に空気中の粒子,湿度,または化学的暴露による汚染からウエファを保護するために設計されています.
PODは,通常,次の部分からなる.
1蓋は,外部の汚染物質から保護されるように密封されたカバーを提供します.
2ベース 運送中にしっかりと位置づけられるようにガイドやスロットでウエフルを固定します.
3閉ざされたときにPODが気密であることを確保し,汚染を防止します.
1汚染防止: 密封された設計により,ウエファーは空気中の粒子,水分,化学物質にさらされない.
2. ウェーファー保護: 輸送および取り扱いの際にウェーファーが物理的に損傷しないことを保証します.
3. 自動化互換性:PODは,自動化ウェーファー積載と卸荷を容易にするため,半導体工場で使用される自動材料処理システム (AMHS) と互換性がある.
4化学耐性: PEEK,PFA,ポリカーボネートなどの高性能ポリマーで作られ,半導体プロセスで使用される腐食性化学物質に対する耐久性を保証します.
POD は,以下の分野で広く使用されています.
1半導体製ウエフラー (シリコン,サファイア,ガラスウエフラー)
2MEMS (微小電気機械システム) の製造
3光学装置の製造
4研究開発研究室
1. 高密封性能により,粒子のない環境を維持
2クリーンルームの貯蔵スペースを最適化するための積み重ね可能な設計
3. 固い構造で,機械的な衝撃からワッフルを保護する
4. 軽量な材料で操作が簡単
5. 内部にあるウエフルの視覚的検査のためのオプションの透明窓
より大きなワファーサイズとより高い清潔性要件に対する需要の増加により,PODデザインは自動化,モジュール化,および多サイズ互換性ニーズを満たすために進化しています.将来のPODには,スマートモニタリングシステムとリアルタイム汚染検出が搭載され,ワッフル保護と生産効率をさらに向上させる.
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