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導かれたPSSのための直径150mm 6inch Al2O3 DSP/のssp 1.0mmtのサファイアの基質
適用
窓材料として使用される
総合的なサファイアは(時々サファイア ガラスと言われる) 750 nmに150 nm (紫外線)と5500 nm (IR)間のライトの波長に対して(透明な両方非常に可視スペクトルであるので窓材料として一般的、伸ばします約380 nmをおよび非常に傷抵抗力があるです。サファイアの窓の主な利点は次のとおりです:
*紫外線からのほぼ赤外線への非常に広い光学伝達バンド
*他の光学材料またはガラス窓よりかなり強い
*負傷および摩耗(ミネラル硬度のスケールのMohsスケールの9、moissaniteの隣の第3最も堅く自然な物質およびダイヤモンド)に対して非常に抵抗力がある
* 650um/1000um厚さの非常に高い溶ける温度(2030年の°C) 6inch/5inch/2inch /3inch 4inch /5inchのC軸線の軸線のr軸線のm軸線の6"/6inch dia150mm C平面のサファイアSSP/DSPのウエファー
概要 | |||||
化学式 | Al2O3 | ||||
結晶構造 | 六角形システム((hk o 1) | ||||
単位格子次元 | a=4.758 Å、Å c=12.991 Å、c:a=2.730 | ||||
物理的 | |||||
メートル | 英語(帝国) | ||||
密度 | 3.98 g/cc | 0.144 lb/in3 | |||
硬度 | 1525 - 2000年Knoop、9つのmhosの | 3700° F | |||
融点 | 2310 K (C) 2040° | ||||
構造 | |||||
引張強さ | 275 MPaへの400 MPa | 40,000から58,000のpsi | |||
20° | 400 MPa | 58,000のpsi (設計min.) | |||
500° C | 275 MPa | 40,000のpsi (設計min.) | |||
1000° C | 355 MPa | 52,000のpsi (設計min.) | |||
Flexural Stength | 480 MPaへの895 MPa | 70,000から130,000のpsi | |||
圧縮の強さ | 2.0 GPa (最終的な) | 300,000のpsi (最終的) |
半導体回路のための基質として使用
薄いサファイアのウエファーはケイ素を沈殿させるためにサファイアか「SOS」で集積回路をケイ素として知られているように、優秀な電気絶縁の特性のほかにするためにサファイアに高い熱伝導性がある絶縁の基質の最初の巧妙な使用でした。サファイアのCMOSの破片は携帯電話、公衆安全バンド ラジオおよび衛星通信システムに見つけられるそれらのような無線周波数の(RF)の強力な適用のために特に有用です。
単一水晶のサファイアのウエファーはガリウム窒化物(GaN)に基づいて装置の成長のために基質として半導体工業でも使用されます。サファイアの使用はかなりゲルマニウムの費用約7分の1があるので、コストを削減します。サファイアのガリウム窒化物は青い発光ダイオード(LEDs)で一般的です。
標準的なウエファー(customzied) 2インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP
3インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP 4インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP 6インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP |
スペシャルの切口
平面の(1120の)サファイアのウエファー R平面の(1102の)サファイアのウエファー M平面の(1010の)サファイアのウエファー N平面の(1123の)サファイアのウエファー 軸線またはM軸線の方の0.5°~ 4°のoffcutとのC軸線、 他のカスタマイズされたオリエンテーション |
カスタマイズされたサイズ
10*10mmのサファイアのウエファー 20*20mmのサファイアのウエファー 超薄い(100um)サファイアのウエファー 8インチのサファイアのウエファー |
模造されたサファイアの基質(PSS)
2インチのC平面PSS 4インチのC平面PSS |
2inch |
DSP C-AXIS 0.1mm/0.175mm/0.2mm/0.3mm/0.4mm /0.5mm/ 1.0mmt SSPのC軸線0.2/0.43mm (DSP&SSP) axis/M axis/R軸線0.43mm
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3inch |
DSP/SSPのC軸線0.43mm/0.5mm
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4Inch |
dspのc軸線0.4mm/0.5mm/1.0mm sspのc軸線0.5mm/0.65mm/1.0mmt
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6inch |
sspのc軸線1.0mm/1.3mmm
dspのc軸線0.65mm/0.8mm/1.0mmt
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基質のための指定
オリエンテーション | R平面、C平面、平面、M平面または指定オリエンテーション | ||
オリエンテーションの許容 | ± 0.1° | ||
直径 | 2インチ、3インチ、4インチ、5inch、6インチ、8インチまたは他 | ||
直径の許容 | 2インチのための0.1mm、3インチのための0.2mm、4インチのための0.3mm、6インチのための0.5mm | ||
厚さ | 0.08mm、0.1mm、0.175mm、0.25mm、0.33mm、0.43mm、0.65mm、1mmまたは他; | ||
厚さの許容 | 5μm | ||
第一次平らな長さ | 2インチのための16.0±1.0mm、3インチのための22.0±1.0mm、4インチのための30.0±1.5mm、6インチのための47.5/50.0±2.0mm | ||
第一次平らなオリエンテーション | 平面(1 1-2 0)の± 0.2°;C平面(0の0-0 1) ± 0.2°の写し出されたC軸線45 +/- 2° | ||
TTV | 2インチのための≤7µm、3インチのための≤10µm、4インチのための≤15µm、6インチのための≤25µm | ||
弓 | 2インチのための≤7µm、3インチのための≤10µm、4インチのための≤15µm、6インチのための≤25µm | ||
前部表面 | Epi磨かれた(RA< 0=""> | ||
背部表面 | 良い地面(Ra=0.6μm~1.4μm)またはEpi磨かれた | ||
包装 | クラス100のクリーン ルームの環境で包まれる |
プロダクト細部
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