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DC および MF マグネトロン スパッタリング コーティング マシン、ディープ ブラック PVD コーティング ソリューション
マグネトロンスパッタリングコーティング
プラズマコーティング
マグネトロン スパッタリングは、ターゲット表面へのイオンの衝撃によってスパッタリング材料が放出されるプラズマ コーティング プロセスです。PVD コーティング機の真空チャンバーには、アルゴンなどの不活性ガスが充填されています。高電圧を印加することでグロー放電が発生し、イオンが加速されてターゲット表面に到達し、プラズマ コーティングが形成されます。アルゴン イオンはターゲット表面からスパッタリング材料を放出し (スパッタリング)、ターゲットの前の製品にスパッタリングされたコーティング層が形成されます。 マグネトロン スパッタリング技術の特徴は次のとおりです。
| モデル | RTAC1250-SPMF | ||||||
| テクノロジー | MFマグネトロンスパッタリング＋イオンプレーティング | ||||||
| 素材 | ステンレス鋼 (S304) | ||||||
| チャンバーサイズ | Φ1250×H1250mm | ||||||
| チャンバータイプ | シリンダー、縦型、1ドア | ||||||
| スパッタリング装置 | 黒色薄膜蒸着専用設計 | ||||||
| 堆積材料 | アルミニウム、銀、銅、クロム、ステンレス鋼、 ニッケル |
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| 堆積源 | 2 セットの MF 円筒型スパッタリング ターゲット + 8 つのステアリング カソード アーク ソース + イオン ソース オプション用 | ||||||
| ガス | MFC- 4 つの方法、Ar、N2、O2、C2H2 | ||||||
| コントロール | PLC(プログラマブルロジックコントローラ) + | ||||||
| ポンプシステム | SV300B - 1 セット (ライボルト) | ||||||
| WAU1001 - 1 セット (ライボルト) | |||||||
| D60T- 1セット (ライボルト) | |||||||
| ターボ分子ポンプ: 2* F-400/3500 | |||||||
| 前処理 | バイアス電源: 1*36 kW | ||||||
| 安全システム | オペレータを保護する多数の安全インターロック | ||||||
| 冷却 | 冷水 | ||||||
| パワーエレクトリック | 480V/3相/60HZ（USA準拠） | ||||||
| 460V/3相/50HZ（アジア対応） | |||||||
| 380V/3相/50HZ（EU-CE準拠） | |||||||
| フットプリント | L3000×W3000×H2000mm | ||||||
| 総重量 | 7.0 トン | ||||||
| フットプリント | (L*W*H) 5000*4000 *4000 MM | ||||||
| サイクルタイム | 30～40分（基材の材質によりますが、 基板の形状と環境条件) |
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| パワーマックス.. | 155キロワット | ||||||
| 平均電力 消費量（約） |
75キロワット |
詳細な仕様については、お問い合わせください。Royal Technology は、トータル コーティング ソリューションを提供できることを光栄に思います。
