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RTSP1200-DPC 銅/銀/金/グラファイト超薄膜成膜装置

RTSP1200-DPC 銅/銀/金/グラファイト超薄膜成膜装置
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製品の詳細
DC 純金属マグネトロン スパッタリング蒸着機、銅/銀/金/グラファイト超薄膜蒸着機 パフォーマンス 1.到達真空度:5.0×10以上-6トル。 2.使用真空圧力:1.0×10-4トル。 3.排気時間:1気圧から1.0×10-4Torr≤ 3 分 (室温、乾燥、クリーン、空のチャンバー) 4.メタラ...
製品詳細図 →