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誘導の蒸発のコータ
概要:
誘導加熱は高いプロセス生産性および普遍性による異なった分野完全なオートメーションの清浄および可能性で広く利用されています。PVDの熱蒸発の技術の1つの方法として、プロセスは環境のために友好的です。誘導が2000℃および多くの温度に達することを割り当てるのでこの方法は工業生産のために非常に適して、科学研究。
RTEP0404誘導の蒸発のコータは材料のC60蒸発の沈殿のために変わります設計されています。C60は将来に提供しますR & Dおよび試験結果を製造します。新しい応用企業を拡大するためにそれらを助ける強い用具。
最初のセットは上海大学のために作り出されます。工業生産モデルは処理であります。
主要出願:
薄膜の層およびコーティングを沈殿させるため
タイプ:
縦のオリエンテーション、ガラス鐘モデル、上の開始
設計特微:
技術仕様:
1. 最終的な真空圧力:9.0*10-5 Paよりよくして下さい;
基礎真空圧力:3.0*10-4 Pa
3. ポンプ ダウンタイム:1台の自動支払機から2.0×10-3 Pa≤25分への（乾燥した室温は部屋をきれいにし、空けます）
4. 沈殿源:誘導の蒸化器、るつぼ
5. 作動モデル:手動で
6. 熱すること:最高までの室温から。1000℃、
7. 蒸発力: RFの無線周波数および電源
8. 働くガス:Ar
真空メッキ機械は下記に記載されているキー完了されてシステムを含んでいます:
1. 真空槽
1.1サイズ:内部の直径400mm
内部の高さ:400mm
1.2材料:真空槽SUS304
部屋は構造を増強します:塗られた終わりの表面処理のSS41穏やかな鋼鉄。
塗られた終わりの表面処理の部屋のシャーシSS41の穏やかな鋼鉄。
1.3蒸発の盾:SUS304
1.4眺めの窓:部屋のドア
1.5真空槽のガス抜き弁（を含む消音装置）
2. 荒削りの真空のポンプ施設管理:
二段式オイルの回転式ベーン・ポンプ
3. 高真空ポンプ システム:ターボ分子ポンプ
4. 電気制御および操作システムHMI操作の単位
4.1本管回路:どれもヒューズのブレーカ スイッチ、電磁石スイッチ、シリーズ タイプのC/T
4.2蒸発力
4.3蒸発の制御システム
4.4操作システム:PLC
4.5測定システム
真空圧力:真空ゲージ:Pirani +ゲージをペンで書きます
4.6警報システム:圧縮空気圧力、冷却の水流、Mis操作
4.7力の負荷表示器:電圧表示器および負荷流れの表示器
5.沈殿システム
5.1沈殿源:誘導の上昇温暖気流の蒸化器
5.2沈殿材料:C60
6. サブシステム
6.1空気圧縮された弁の制御システム
6.2冷水システム:水流管およびスイッチ弁システム
6.3働くガス:Ar （>99.99%）
7. 労働環境
圧縮空気:5~8kg/cm2
冷水:温度水:20~25℃、200リットル/分、
圧力水:2~3 kg/cm2、
力:3段階380V 50Hz （60Hz）、8kVAの平均出力の消費:3kVA
設置区域:（L*W*H） 2000*200*2000mm
排気:機械ポンプのための出口
開くために自動的にUp-Downの単位を/近い部屋引っ張ります
電気エンクロージャ システム:
保証先端:
RFの放射からのShiledingの保護
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