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Tetrafluoromethane
純度≥99.99%水≤10 PPM
酸味の≤は0.1 PPM 100 PPM Residue≤を蒸発させる
物理的性質
| 化学式 | CF4 | 分子量 | 88.005 |
| 沸点（1atm/℃） | -128.05 | 臨界温度（℃） | -45.64 |
| 臨界圧（Mpa） | 3.75 | 重大な密度（g/cm3） | 0.6257 |
| ODP | 0 | GWP | 5700 |
パッキング
詰め替え式の鋼鉄シリンダー10L/40L/ISO-TANK
適用
血しょうエッチングのガスは電子デバイス、洗剤の表面のクリーニングに、高い純度の酸素のガスと混合される高純度のガス使用することができる。
特別で超低い温度の冷却剤として、R14は非常に低温を要求する低温学装置で主に使用される（を含む科学研究の冷凍、医学の冷凍、等）。R14はまた超低い温度および冷却剤の重要な部品である。カーボンtetrafluoride （tetrafluoromethane）はマイクロエレクトロニクス工業の最も広く利用された血しょうエッチングのガスである。tetrafluoromethaneおよび高い純度の酸素のその高い純度のガスそして高い純度のガスはケイ素および二酸化ケイ素で広く利用される。窒化珪素、phosphosilicateガラスおよびタングステンのような薄膜材料のエッチングは電子デバイスの表面のクリーニング、太陽電池の生産、プリント回路の生産のレーザー技術、ガス段階の絶縁材、漏出テスターおよび洗剤でまた広く利用されている。
導入
R14、カーボンTetrafluorideまたはTetrafluoromethaneの化学式CF4。R14はFCタイプの物質に属する–オゾン層への損傷がないが、地球温暖化の効果がある;現在新しい冷凍装置の頭文字のR14冷却剤の生産に制限がおよび販売そして再付加およびアフターセールス装置ない。
