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デジタルガス流量コントローラーであるMFC900シリーズは、微小電気機械システム（MEMS）流量センシングチップを使用して製造されており、清浄で比較的乾燥した微小流量ガスおよびさまざまな目的のプロセス制御の測定に適しています。独自のパッケージング技術により、製品はさまざまな流量測定範囲に対応し、高感度、信頼性、安定性、低コストを保証します。MFC900シリーズは、MEMS流量センシングユニットと高精度デジタル処理および校正回路（MCU）で構成されています。統合されたΔ - ∑ A/Dコンバーター、内部校正機能を備えたロジック回路、MCUプロセッサー、および表示ユニットモジュールが連携して、センシング信号のリアルタイムかつ効果的な取得を保証し、正確な流量信号を取得し、内部で対応する補償アルゴリズム処理を実行します。流量計の試験原理により、高精度な流量出力を確保するために外部校正補償は不要です。使いやすいデジタル出力通信方法により、ユーザーはデジタル通信を使用して対応する豊富なデータ情報を簡単に取得できます。この製品は幅広い用途があります。
| 機能項目 | 仕様 | 単位 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 流量範囲 | 50、100、200、500、800、1000 SCCM; 2、5、8、10、12 SLPM | ||
| スケール範囲 | 100:1 | ||
| 電源電圧 | 7〜24 VDC、100 mA | VDC | カスタマイズ可能 |
| 精度 | ±1.0 | %FS | |
| 再現性 | 0.25 | % | |
| 応答時間 | 67（デフォルト） | ms | カスタマイズ可能 |
| 最大圧力 | 1.0 | MPa | |
| 通信モード | RS 485（MODBUS） |
| 機能項目 | 仕様 | 単位 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 出力方法 | 0.5〜4.5のアナログ出力 | VDC | |
| オプションの出力方法 | LoRa | Apolegamy | |
| 表示モード | 瞬間流量：SLPM; 累積流量：SL |
| 機能項目 | 仕様 | 単位 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 媒体温度 | -10〜65 | ℃ | |
| 周囲温度 | -25〜85 | ℃ | |
| 動作湿度 | <100% RH（氷結なし、結露なし） |
| 機能項目 | 仕様 | 単位 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 重量 | 0.295 | kg | |
| 接続タイプ | NPT 1/8” | カスタマイズ可能 | |
| オプションの接続 | |||
| バルブタイプ | ノーマルクローズ | ||
| 校正条件 | 空気、20℃、101.325 kPa | 差別化 |
この表は、MFC 900シリーズガス質量流量コントローラーの主要な機能項目と性能パラメータをまとめたもので、流量、電源、精度、応答時間、圧力、通信モード、出力方法、表示モード、環境条件、および物理的特性の仕様が含まれています。