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注文 の 方法:
| 特徴 | 仕様 |
|---|---|
| 流量範囲 | 0 - 500 SLPM (選択可能: 10, 20, 30, 100, 150, 200, 300, 400, 500 SLPM) |
| 精度 | ±1.5% フルスケール (F.S.) |
| 生産量 | アナログ (1〜5V),I2C通信 |
| 応答時間 | 20ms |
| 動作温度 | -25°Cから85°C |
| 貯蔵温度 | -40°Cから90°C |
| 湿度 | 0〜100% RH (冷却しない) |
| 衝撃耐性 | 100g |
| センサーコア | 固体状態 (脆弱な薄膜や表面の穴がない) |
| コンデンサト抵抗 | そうだ |