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MFC900シリーズデジタルガス質量流量制御器は,高度なマイクロ電子機械システム (MEMS) 流量センサーチップ技術を使用しています.清潔な温度測定と制御を必要とするアプリケーションに最適です.その独特のパッケージング技術は,制御器が様々な流量測定範囲に対応できるようにし,高い感度,信頼性,安定性,費用効率性.
MFC 900 シリーズは,高精度デジタル処理および校正回路 (MCU) と組み合わせた MEMS 流量センサーユニットの周りに設計されています. 統合された Δ - Σ A/D 変換機,内部校正機能を持つ論理回路このシステムには外部校正補償を必要としません. このシステムでは,電源が電源の電源に変換され,電源が電源に変換され,精密な流出を保証するユーザにやさしいデジタル出力通信により,包括的なデータへのアクセスが容易になり,幅広い用途に適しています.
| 機能品 | MFC900シリーズガス質量流量制御装置 | ユニット | コメント |
|---|---|---|---|
| 仕様 | 501,100,200,500,800,1000 SCCM 2,5,8,10,12 SLPM | ||
| スケール比 | 100:1 | ||
| 電源の電圧 | 7~24 VDC,100 mA | VDC | カスタマイズ可能 |
| 精度 | ±10 | %FS | |
| 繰り返し | 0.25 | % | |
| 応答時間 | 67 (デフォルト) | ms | カスタマイズ可能 |
| 最大圧力 | 1.0 | MPa | |
| 通信モード | RS 485 (MODBUS) | ||
| 出力方法 | アナログ出力0.5-4.5 VDC,ローラ | VDC | 選択可能 |
| 表示モード | 瞬時の流量:SLPM;累積流量:SL | ||
| 温度 | 中間: -10~65°C,環境: -25~85°C | °C | |
| 作業湿度 | <100% RH (氷も凝縮も不要) | ||
| 体重 | 0.295 | 体重 | |
| 接続 | NPT 1/8 | カスタマイズ可能 | |
| バルブタイプ | 通常 閉め | ||
| カリブレーション条件 | 空気 20°C 101.325 kPa |
サイズ
