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2 年
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| 定数直径 (mm) | 最大流量仕様の選択 (SLPM) |
|---|---|
| 19 | 100,200,300,500,600,800,1000 |
モデルCMF9019
| パラメータ | 価値 | ユニット | コメント |
|---|---|---|---|
| 定数直径 | 19 | mm | |
| スケール | 100:1 | ||
| 電源の電圧 | 7~24VDC,50mA | VDC | カスタマイズ可能 |
| 精度 | ±15 | %FS | |
| 繰り返し | 0.25 | % | |
| 応答時間 | 67 (デフォルト) | ms | カスタマイズ可能 |
| 最大圧力 | 0.5 (最大0.8個調整可能) | MPa | |
| 通信モード | RS485 (MODBUS) | ||
| 出力方法 | 1~5V,4~20mAのアナログ出力 | VDC | 選択可能 |
| 表示モード | 瞬時の流量:SLPM;累積流量:SL | ||
| 温度 | 中間温度: -10 |
°C | |
| 作業湿度 | <100% RH (氷も凝縮も不要) | ||
| 体重 | 0.395 | 体重 | |
| インターフェース | R3/4 | カスタマイズ可能 | |
| カリブレーション条件 | 空気 20°C 101.325kPa |
CMF9000シリーズデジタル開発型ガス質量流量計は,マイクロ電子機械システム (MEMS) 流量センサーチップを使用し,クリーン,比較的乾燥した小流量ガス測定とプロセス制御独特のパッケージング技術により,製品は異なる流量測定範囲に対応し,高い感度,高い信頼性,高い安定性,低コストを提供します.
CMF9000シリーズは,MEMS流量センサーユニットと高精度デジタル処理および校正回路 (MCU) を統合している.これは,統合されたΔ-ΣA/D変換器を含む.内部校正機能を持つ論理回路リアルタイムで効率的な検出信号,正確な流れ信号,必要な補償アルゴリズムの適用流量計の設計により,高精度の流量出力を保証する外部校正補償の必要性がなくされる.ユーザに使いやすいデジタル出力通信モードにより,包括的なデータ情報へのアクセスが容易になります製品の使用範囲を拡大する.