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ファンフィルターユニット (FFU) は,自力で動いた空気浄化装置である.扇風機,フィルターなどで構成され,空気中の不浄物を効果的に濾過し,特定のスペースに清潔な空気を供給することができる.クリーンルームなどの場所で広く使用されています..