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2" 3" 4" 6" リチウムタンタラート ワッフル ピエゾ電気アプリケーションの究極の解決策
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リチウムタンタレート・ウェーファーで精度と性能の力を体験します テクノロジーの未来に投資します
直径 | 76.2±0.2mm | 100±0.2mm | 150±0.2mm | ||||
主要フラット | 22±1mm | 32±1mm | 47.5mm, 57.5mm, ノッチ | ||||
オリエンテーション | 36°Y, 42°Y, X-112°Y, Y, Z | ||||||
厚さ | 0.07mm~1.0mm | 0.1mm~1.0mm | 0.35mm~1.0mm | ||||
表面仕上げ | シングル / ダブルサイド・ポーリング / ダブルサイド・ラップ | ||||||
TTV | < 1~5μm | ||||||
ボウ | ± (20μm~40um) | ||||||
ワープ | <= 20μm ~ 50μm | ||||||
LTV (5mmx5mm) | <1.5mm | ||||||
PLTV ((<0.5um) | ≥98% (5mm*5mm) 2mmの縁を除く | ||||||
滑らかな面 Ra | 荒さ Ra<=5A | ||||||
裏側の基準 | 粗さ Ra:0.5-1.0μm,GC#1000 | ||||||
スクラッチ&ディグ (S/D) | 20/10,40/20,60/40 | ||||||
エッジプロファイル | SEMI M1.2で完成しました. GC800#で. | ||||||
裂け目,シール痕跡,汚れ | ない |
結晶構造 | トリゴナル,スペースグループR3c,ポイントグループ3m |
セルパラメータ | a=5.154Å,c=13.781Å |
溶融点 | 1650°C |
キュリー温度 | 60°C |
モース硬さ | 5.5 |
密度 | 7.46g/cm3 |
ダイレクトリック常数 | ε11/ε0:51.7 |
ε33/ε0:44.5 |
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