薄膜 強力なリタオ3 リチウムタンタレート 3インチ 生物医学センサー
モデル番号:タンタル酸リチウム (LiTaO3)
産地:中国
最低注文量:100個
支払条件:T/T
供給能力:10000 PC/月
配達時間:2-4週
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Hangzhou Shanghai China
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客室1106,CIBC,198号 武蔵道,杭州,中国人民共和国
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製品詳細
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薄膜,強力な応用:生物医学センサーにおけるリタO3
バイオメディカルセンサーの分野では LiTaO3は 熱電池効果と超薄質のウエファーへの取り組みにより 変化をもたらします円盤の厚さは 20um ほどで直径は 4 インチまでバイオメディカルセンサーで利用すると,様々な医療用アプリケーションで不可欠な正確な温度測定を保証します.患者の監視から 診断ツールへ生物医学における敏感性と信頼性を優先するイノベーションの基礎となる.
直径 | 76.2±0.2mm | 100±0.2mm | 150±0.2mm |
主要フラット | 22±1mm | 32±1mm | 47.5mm, 57.5mm, ノッチ |
オリエンテーション | 36°Y, 42°Y, X-112°Y, Y, Z | ||
厚さ | 0.02mm~1.0mm | 0.02mm~1.0mm | 0.05mm~1.0mm |
表面仕上げ | シングル / ダブルサイド・ポーリング / ダブルサイド・ラップ | ||
TTV | < 1~5μm | ||
ボウ | ± (20μm~40um) | ||
ワープ | <= 20μm ~ 50μm | ||
LTV (5mmx5mm) | <1.5mm | ||
PLTV ((<0.5um) | ≥98% (5mm*5mm) 2mmの縁を除く | ||
滑らかな面 Ra | 荒さ Ra<=5A | ||
裏側の基準 | 粗さ Ra:0.5-1.0μm,GC#1000 | ||
スクラッチ&ディグ (S/D) | 20/10,40/20,60/40 | ||
エッジプロファイル | SEMI M1.2で完成しました. GC800#で. | ||
裂け目,シール痕跡,汚れ | ない | ||
結晶構造 | トリゴナル,スペースグループR3c,ポイントグループ3m |
セルパラメータ | a=5.154Å,c=13.781Å |
溶融点 | 1650°C |
キュリー温度 | 60°C |
モース硬さ | 5.5 |
密度 | 7.46g/cm3 |
ダイレクトリック常数 | ε11/ε0:51.7 |
ε33/ε0:44.5 | |
弾性硬さ係数 | CE11:2.33 ((×1011N/m2) |
CE33:2.77 ((×1011N/m2) | |
ピエゾ電圧の常数 | d22:2.4 ((×10-11C/N) |
d33:0.8 ((×10-11C/N) | |
トランスミッションの範囲 | 400〜4500nm |
電気光学係数 | r33=30.4pm/V |
屈折率 632.8nm | 2 は 2 です.176,ne=2 とする.180 |
薄膜 強力なリタオ3 リチウムタンタレート 3インチ 生物医学センサー
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