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光学窓として使用される10mm角のFeドープSrTiO3結晶ウェーハ
Nbドープチタン酸ストロンチウム(Nb:SrTiO3)は、チタン酸ストロンチウム単結晶と同様の構造をしていますが、Nb:SrTiO3は導電性を持っています。ニオブをドープしたチタン酸ストロンチウムの抵抗は、ニオブをドープした濃度が 0.1 ~ 0.001 wt% である場合、0.1 ~ 0.001 W-cm の範囲で変化します。導電性単結晶基板は、フィルムおよびデバイスに電極を提供します。
SrTiO3結晶 | |
結晶構造 | 立方晶系 (a=3.905Å) |
密度 | 5.122g/cm3 |
ドーパント | 真性、Feドープ、ネオジム(Nd)ドープ、ニオブドープ |
硬度 | 6~6.5(モース) |
熱膨張係数 | 10.4×10-6/k |
誘電率 | 5.2 |
オリエンテーション | <100>、<110>、<111>±0.5ああ、要求に応じ |
寸法 | 10×3mm、10×5mm、10×10mm、15×15mm、20×15mm |
厚さ | 0.5±0.015mm、1±0.015mm |
表面仕上げ | 片面研磨、両面研磨 |
表面粗さ | ≤5Å |
パッケージ | 100クラスクリーンバッグ、ジャーパッケージ、フィルムパッケージ |