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3 Diaインチの76.2mmサファイアの基質の光学結晶Windows
単結晶のサファイアAl2O3は優秀な光学、物理的なおよび化学特性の独特な組合せを所有している。酸化物の水晶の最も堅いのは、サファイアAl2O3高温で高力を保ったり、よい熱特性および優秀な透明物がある。サファイアAl2O3の光学は300の摂氏温度の下で多くの酸およびアルカリに対して1000までの摂氏温度、またHFに対して温度で化学的に抵抗力がある。これらの特性は目に見えるのからの近い赤外線への範囲の光学伝達が要求される敵の環境のサファイアAl2O3の光学の広い使用を励ます。
項目 | 3インチのC平面(0001) 650μmのサファイアのウエファー | |
水晶材料 | 99,999%の高い純度、モノクリスタルAl2O3 | |
等級 | 主、Epi準備ができた | |
表面のオリエンテーション | C平面(0001) | |
M軸線0.2の方のC平面の以外角度+/- 0.1° | ||
直径 | 76.2 mm +/- 0.1 mm | |
厚さ | 650 μm +/- 25 μm | |
第一次平らなオリエンテーション | 平面(11-20) +/- 0.2° | |
第一次平らな長さ | 22.0 mm +/- 1.0 mm | |
磨かれる単一の側面 | 前部表面 | のRA Epi磨かれた < 0=""> |
(SSP) | 背部表面 | 良い地面、RA = 1.2 μmへの0.8のμm |
磨かれる二重側面 | 前部表面 | のRA Epi磨かれた < 0=""> |
(DSP) | 背部表面 | のRA Epi磨かれた < 0=""> |
TTV | < 20=""> | |
弓 | < 20=""> | |
ゆがみ | < 20=""> | |
/包むクリーニング | きれいになり、真空パックするクラス100のクリーンルーム単一部分の包装。 |
サファイアAl2O3の物理的性質 | |
密度 | 3.97 g/cm3 |
融点 | 2040の摂氏温度 |
熱伝導性 | 27.21と(K) 300 Kのm X |
熱拡張 | 5.6 x 10 -6 /K (平行C軸線)及び5.0 (垂直なC軸線) x 10 -6 /K |
硬度 | Knoop 2000g圧子との2000 kg/mm 2 |
比熱容量 | 419 J/(K) kg X |
比誘電率 | 1MHzの11.5 (平行C軸線) 9.4 (垂直なC軸線) |
ヤングの係数(e) | 335 GPa |
せん断の係数(G) | 148.1 GPa |
バルク係数(k) | 240 GPa |
伸縮性がある係数 | C11=496C12=164C13=115 C33=498C44=148 |
明白な伸縮性がある限界 | 275 MPa (40,000のpsi) |
ポアソン比率 | 0.25 |
受入検査