チタンスプッティングTi グレード1 グレード2 シルバースプッティングターゲットチタンスプッティングターゲットはコーティング
スプッタリングは,様々な基板に薄膜とコーティングを作成するために広く使用されている堆積技術です.このプロセスでは,噴射対象から物質
(通常は金属または合金)
は真空で高エネルギーイオンで爆撃されます表面に原子が放出され,表面に堆積される.これは薄くて均質なコーティングを形成する.さまざまな用途のために,タイタングレード2のような特定の材料,チタン級5特殊な特性があるため
発射対象としてよく使われます
下記では,これらのスプッターターゲットの特性,用途,およびコーティングアプリケーションの利点について詳細に説明します.
チタンスプッターの標的:グレード1対グレード2
タイタンは強度,耐腐蝕性,生物互換性で知られる多用途金属で,航空宇宙から医療機器まで幅広い用途に適しています.
タイタン1級 (Ti Gr1) 噴射対象
- 組成:チタン1級は,商業的に純粋なチタン (99.5%チタン)
で,すべてのチタン級の中で最も低強度であるが,最も高い形状性および耐腐蝕性がある.
- キープロパティ:
- 優れた耐腐蝕性:グレード1のチタンは,特に塩化物豊富な溶液 (海水など) で,さまざまな環境で耐腐蝕性に優れている.
- 高柔らかさ: 優れた加工性があり,堆積のために薄膜に簡単に処理することができます.
- 良質な生物互換性:無毒で生物互換性があり,医療用に使えるのに最適です.
2級チタン (Ti Gr2) 噴射対象
- 組成:グレード2チタンは,商業的に純粋なチタンのグレードの中で最も広く使用されている (99.2%チタン)
で,少量の鉄と酸素を含んでいます.
- キープロパティ:
- グレード1より高い強度:まだ商業的に純粋なチタンですが,グレード2は強度と柔らかさのバランスを提供します.
- 優れた耐腐蝕性:Tiグレード2は,グレード1と同様に,特に塩水や酸性条件では,ほとんどの環境での耐腐蝕性があります.
- 生物互換性:Ti Gr2は高度な生物互換性があるため,医療インプラントに広く使用されています.
チタンスプッターの標的用途:
- 医療用コーティング:
グレード1とグレード2のチタンは,整形器具,歯科インプラント,外科機器などの医療機器をコーティングするために一般的に使用されます.これらの用途は,チタンによる生物互換性と耐腐蝕性から恩恵を受けます..
- 航空宇宙および自動車用コーティング:チタンスプッターターゲットは,航空宇宙でタービンブレード,エンジン部品,耐酸化および耐磨性があるため,強度/重量比が高いため,.
- 装飾用および機能用コーティング:チタンは,光り輝く仕上げのため,消費電子機器,宝石,高級品の装飾コーティングに使用されることが多い.耐腐食性.
シルバー・スプッティング・ターゲット
銀 は 電気 や 熱 を 優しく 伝導 し て いる 金属 で,反射 力 と 腐食 耐性 も
優れている.これらの性質は,様々なスプッティングアプリケーションに非常に適しています.
シルバー・スプッティング・ターゲット
- 構成:純銀 (99.9%以上)
- キープロパティ:
- 電気 や 熱 伝導 性: 銀 は どの 金属 の 中 で も 最も 高い 電気 伝導 性 を 持っ ており,効率 的 な 電気 や 熱
伝送 を 要求 する 電子 機器 に 広く 用い られ て い ます.
- 反射性: 銀は,可視光線と赤外線スペクトルで優れた反射性があり,光学コーティングに最適です.
- 腐食耐性:銀は硫黄の存在で汚れることがありますが,ほとんどの環境では腐食に強く抵抗します.
- 抗菌性: 銀は抗菌性で知られており,医療用に使えます.
シルバースプッタリング標的の用途:
- エレクトロニクス コーティング: 電子 業界 で 広く 用い られ て いる 銀 は,印刷 回路,太陽電池,センサー の 導電性 薄膜
を 作り出す ため に 用い られ て い ます.
- 光学コーティング:銀は高い反射性があるため,鏡,レンズ,望遠鏡やカメラレンズなどの機器のための光反射コーティングなどの光学装置に使用されています.
- 医療用 コーティング: 銀のスプッターターゲットは,外科機器,病院機器,傷口包帯などの医療機器の抗菌性コーティングに使用されます.
- 装飾用コーティング:銀は,輝く外見のために,宝石,高級品,消費品の装飾用コーティングに使用されます.
塗料用チタンとシルバースプッティングの応用
チタン (1級と2級)
とシルバーをスプッティング対象として組み合わせることで,様々な産業で高性能コーティングが作れます.塗料の用途の詳細は以下の通りです:
医療用コーティング:
- タイタン (1級と2級):
タイタンコーティングは,膝と股関節の義肢,脊髄の義肢,歯の義肢などのインプラントのために生物医学分野で広く使用されています.材料の高い生物相容性と耐腐蝕性により,このような用途に最適です.
- 銀: 銀 の コーティング は 抗菌 特性 に よっ て も 用い られ て い ます.それ は 医療 器具 や 手術 器具 や 傷
治療 製品 に 細菌 の 増殖 を 防ぐ こと に 役立ち ます.
電子コーティング:
- シルバー:
シルバースプッターターゲットは,PCB,ソーラーパネル,センサー,および高伝導性と熱効率を必要とする他の電子部品に薄膜沉着するためにしばしば使用されます.
- チタン:チタンコーティングは,耐久性と耐腐蝕性を提供する電子機器のコンデンサ,半導体,伝導性層に使用されます.
オプティカルコーティング:
- 銀: 銀 の 反射 力 に よっ て,鏡 や 望遠鏡 システム,カメラ の レンズ,光反射器 の レンズ の よう な 光学 塗料 に
使える よう に なり ます.
- チタン:チタンコーティング,特にチタンナイトリド (TiN) は,耐磨性や腐食性が高い光学アプリケーションで使用されます.
装飾用コーティング:
- タイタン:チタニウムはアノイド化によって表面に鮮やかな色を形成する能力があり,宝石,消費電子機器,高級品の装飾用コーティングに最適です.
- 銀: 銀 は 鮮やかな 外見 と 消費 品 に 与える 輝き の ため に,装飾 用 に よく 用い られ ます.
噴射されたチタンと銀を使用したコーティングアプリケーション
医療用コーティング:
- チタン (グレード2&グレード5) のコーティングは,通常,整形器具
(例えば,ヒップインプラント,膝インプラント),歯科インプラント,外科用器具に使用されます.耐腐食性機械的な強度も
- 銀の抗菌性を利用し,不妊性を確保し,感染リスクを軽減するために,医療機器や装置に銀のコーティングが適用できます.
航空宇宙用コーティング:
- Titanium Gr5 sputtering targets are used for aerospace coatings on
components such as aircraft turbine blades and engine parts to
provide high strength and resistance to wear and corrosion under
extreme conditions.
- シルバーコーティングは,衛星鏡,太陽光パネル,通信装置にも使用されています.
電子コーティング:
- シルバーコーティングは,センサー,プリント回路板 (PCB) や太陽電池の製造を含む電導性薄膜のために電子業界で広く使用されています.
- タイタンコーティングは,耐久性や耐腐蝕性が重要なコンデンサターや半導体部品に使用される.
オプティカルコーティング:
- シルバー の 覆い は,色々な 波長 で 光 を 反射 する 能力 の ため,反射鏡,光学 センサー,レンズ の ため に 理想 的
です.
チタン・アルミニウム合金コーティングの特殊医療用途
整形器具 整形器具 整形器具
- タイタン・アルミニウム合金には,強度や軽さ,耐腐蝕性があるため,ヒップ・および膝の置換器,脊髄インプラント,骨の螺栓に使用されています.この合金をインプラント表面に噴射すると薄い耐磨性や耐腐蝕性のある生物互換性のあるコーティング
歯科インプラント
- 歯科インプラントにはチタン・アルミニウム合金から作られた薄膜が塗り付けられ,骨の統合を改善し,排斥のリスクを軽減します.これらのコーティングは,厳しい環境
(e) で歯科インプラントの耐久性を向上させる.唾液,酸,およびオクラュス力への曝露など).
手術用道具:
- チタン・アルミニウム合金薄膜で塗装された外科用道具は,耐磨性,耐腐蝕性,および生物互換性を向上させています.カーシーは
時間の経過とともに 性能と整合性を維持するのに役立ちます特に不妊サイクルでは
医療機器のコーティング:
- ステントやカテーテルや血管移植などの装置は 生物互換性と体内の耐腐蝕性を向上させるために
タイタン・アルミニウム合金で覆うことができますこのようなコーティングは,デバイスが体組織とより良く結合し,合併症や拒絶されるリスクを軽減するのに役立ちます.
義肢器具:
- 耐久性と快適性を向上させるために,義肢や関節にもチタン・アルミニウム合金コーティングが適用されます.合金コーティングは強度,柔軟性,義肢の長寿長期使用に適しています.
医療用コーティング用高純度スプッターターゲットは
チタンとチタン・アルミニウム合金 (例えばTi Gr2,Ti
Gr5,医療機器に堆積された薄膜が厳格な純度基準を満たすことを確保するために不可欠です医療業界では 患者の安全と
デバイスの長寿にとって コーティングの整合性が 極めて重要です高度な純度でスプートリングすることで 最終的なコーティングが:
- 排斥や刺激を引き起こす不純物を避けることで生物互換性を向上させる.
- 機械的特性 (強度や柔らかさ) を維持し,生理条件下で装置が適切に機能することを確保する.
- 装置の整合性を損なうことなく,体液に長期にわたって曝されても耐えられる.
チタン・アルミニウム合金標的は,特定の特性を持つ薄膜を堆積するために噴射プロセスで使用される特殊材料である.この標的はチタン (Ti)
とアルミニウム (Al) の組み合わせで作られています様々な産業用用途に 使えるような 独特な特性があります
チタン・アルミニウム合金標的の特徴:
高純度:
- タイタン・アルミニウム合金標的は,通常99.5%以上の高純度で生産される.この高純度により,スプートリング中に沉着する薄膜は不純物から自由である.精密なコーティングを必要とするアプリケーションで優れた性能と均一性を提供する.
細粒子の大きさ:
- 合金標的は細かい粒子の大きさで製造され,噴射プロセスの効率性を高めます.細かい粒子の大きさにより,膜が基板により均一に堆積する.コーティングの質を向上させる.
簡単にシンタリング:
- チタン・アルミニウム合金には良好なシンテリング特性があり,密度や固体形に簡単に加工できます.これは標的が耐久性があり,信頼性があり,発射過程で発生するストレスに耐える能力があり,分解しない.
良好な形容性
- チタン・アルミニウム合金標的は,優れた形容性で知られています.この特性により,様々な形やサイズで製造できます.異なるスプッティングシステムとの互換性を確保し,幅広い用途でその汎用性を向上させる.
チタン・アルミ合金標的の用途:
タイタン・アルミニウム合金スプッターターゲットは,耐磨性,耐腐蝕性,強いコーティングを形成する能力などの特徴性により,さまざまな産業で使用されています.いくつかの主要な用途には,:
切断ツール:
- タイタン・アルミニウム合金コーティングは,着用耐性,腐食耐性,熱安定性を向上させるために,切削ツールで一般的に使用されます.このコーティングは,ドリルのような道具の寿命を延ばします高速加工でより効率的に使えます.
シメント化炭化水素のドリル・ビットとツール:
- シメンテッドカービッドのドリルとツールは,磨削と高温条件でのツールの性能を大幅に向上させるため,チタン・アルミニウム合金コーティングの恩恵を受ける.硬い
材料 を 掘り 掘り 加工 する 時 の 切断 能力 や 耐久性 を 向上 さ せる.
シメンテッドカービッドセラミックツール:
- このコーティングは,セメント化炭化物から作られた陶器道具に適用され,磨損耐性,強度,強さを高めます.これは,非常に硬い材料を扱うツールを必要とするアプリケーションで特に有用です航空宇宙や自動車産業などです
シメンテッドカービッド型:
- チタン・アルミニウム合金コーティングは,セメント化カービッドから作られた模具にも使用されます.これらの模具は,金属鋳造プロセスで使用されます.チタン・アルミニウムコーティングによる耐磨性や耐腐蝕性の向上から利益を得る寿命の延長と製品の質の向上に貢献します.
粉末金属工学 超硬質材料の部品:
- 粉末 金属 工 業 を 通し て 超 硬い 材料 を 製造 する に は,チタン ・ アルミニウム 合金 が 必要 です.この 塗装
は,最終 製品 の 硬さ,熱 安定 性,腐食 耐性 を 向上 さ せる,鉱山,掘削,切削ツールなどの産業の用途に適しています
メタル複合陶器:
- これらの合金物は,金属複合陶器の製造に添加物としてしばしば使用されます.金属と陶器の性質の組み合わせは,より強い強度,熱耐性,電気伝導性電子機器や機械システムの要求の高いアプリケーションに適しています.
高温耐性合金のための添加物:
- タイタン・アルミニウム合金は,高温耐性合金の製造における主要な添加物として使用されます.これらの合金は,ジェットエンジン,ガスタービン,熱交換機熱安定性と強度が重要な場合.チタンとアルミニウムを加えると,合金の全体的な温度耐性と構造的整合性が向上します.
チタン級:
化学的要件 |
| N | C について | H | フェ | オー | アール | V | Pd | モー | ニ | ティ |
Gr1 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / | / | / | / | / | バール |
Gr2 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | / | / | / | / | バール |
Gr5 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.20 | 5.5〜675 | 3.5~45 | / | / | / | バール |
Gr7 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | / | 0.12~025 | / | / | バール |
Gr12 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | / | / | 0.2~04 | 0.6~09 | バール |
結論は
TiAl合金を含むチタン合金噴射標的は,航空宇宙から電子機器,生物医学に至る産業におけるコーティングアプリケーションに使用される汎用材料です.この材料は強さなどの
特殊な特性を持っています耐腐食性,生物互換性,耐磨性があり,耐久性があり高性能な薄膜を必要とする要求の高いアプリケーションに最適です.タイタンのスプッター標的を選ぶとき合金組成,純度,標的幾何学などの要因は,噴射過程で最適な結果を達成するために考慮する必要があります.