金属スプッティングターゲット Gr1 Gr2 Gr5 チタンスプッティング シルバースプッティングターゲット

金属スプッティングターゲット Gr1 Gr2 Gr5 チタンスプッティング シルバースプッティングターゲット

商品の詳細:

グレード: Gr1 Gr2 Gr5 チタン,TiAl,TiCr,TiCu,TiSi,Mo,Crなど お客様の要求に応じて

サイズ: 60/65/70/80/85/90/95/100 ((D)/200/300/400×20/30/32/35/40/42/45/50 ((T) または顧客の要求に応じて

表面:明るい表面

適用:コーティング産業,スプッター真空コーティング産業

化学的要件:

製品名:チタンターゲットのスプートリング

材料:純チタン:GR1 GR2

純度 >=99.6%

応用:ハードウェア,装飾,道具,陶器,ゴルフ,その他のコーティング産業

サイズ:

丸いスプッティング対象: Φ100×40, Φ95×45, Φ80×40, Φ90×40, Φ85×35およびその他の特定のサイズ.

チューブスプッターターゲットは: Φ70×7×L900--2000mm, Φ89.4mmX7.62mmX1728mm, Φ89.4mmX15mmX1728mm, Φ80mmX10mmX1728mm,その他の特定のサイズ.

プレート・スプッティング・ターゲット:T6-40×W60-800×L600-2000mm その他の特定のサイズ

顧客ニーズに応じて異なる比率で合金標的をカスタマイズすることができます

タイタンのスプッターターゲットは,様々な先進的な製造プロセス,特にスプッターなどの薄膜堆積技術で使用される不可欠な材料です.これらのターゲットは,様々な用途のためのコーティングの生産に広く使用されています.電子機器,半導体,航空宇宙,ナノ材料などです ここではこれらの材料とその用途と仕様について詳しく説明します

1タイタン・スプッター・ターゲットは?

スプッターターゴールは スプッターデポジションに使われる材料で 薄膜デポジションの方法です標的物質は,エネルギーイオン (通常はプラズマ) によって爆撃され,原子が噴射され,基板に堆積されるチタンのスプッターターゲットは,特に様々な表面に薄いチタンのフィルムを堆積するために使用されます.腐食耐性などの有益な特性を提供する耐磨性も向上しました

2. タイタン・スプッター・ターゲットの種類

チタンのスプッターターゲットの種類はいくつかあり,それぞれ独自の特性と用途があります.

• チタン (Ti) スプッター標的:
  純チタン (Gr1, Gr2, Gr5) の標的は,チタンフィルムを堆積するために広く使用されています.これらの標的は,強い,耐久性のあるコーティングで,腐食耐性が優れている.

• チタン・アルミニウム (TiAl) スプッター標的:
  TiAlスプッターターゲットはチタンとアルミの組み合わせである.この合合体は,航空宇宙および半導体における特定のアプリケーションを持つ硬くて耐磨性のあるフィルムの生産に使用される.

• チタン・クロム (TiCr) スプッター標的:
  TiCrターゲットは,硬さや耐磨性を向上したフィルムを堆積するのに有用である.磁気貯蔵媒体,半導体,光学コーティングにしばしば使用される.

• チタン銅 (TiCu) スプッター標的:
  TiCuスプッターターゲットは,チタンと銅の性質を組み合わせます.銅は高い電気と熱伝導性を有します.この標的をマイクロ電子や薄膜トランジスタに最適にする.

• チタン・シリコン (TiSi) スプッター標的:
  TiSiスプッターターゲットは,特定の熱安定性と化学抵抗性のあるフィルムを製造するために使用され,一般的に半導体装置,マイクロ電子部品,光学コーティングに使用されます..

• シルコニウム (Zr) スプッター標的:
  ジルコニウムスプッターターゲットは,高耐腐蝕性,酸化性,耐磨性を必要とするアプリケーションで使用されることが多い.これらは一般的に航空宇宙,原子力,光学コーティング.

• クロム (Cr) スプッター標的:
  Crスプッターターゲットは,硬くて耐磨性のあるコーティングを敷設し,表面の装飾仕上げに使用されます.これらは自動車,航空宇宙,工具産業で一般的です.

• モリブデン (Mo) スプッター標的:
  モリブデンスプッターターゲットは高温安定性を提供し,電子機器,光伏,光学コーティングのアプリケーションに最適です.

3. タイタンのスプッター標的の材料グレード

• グレード1 (Gr1): 商業的に純粋なチタンで,腐食耐性が優れているが,強度が低い.耐腐蝕性が高いが,高い機械的強度を必要とするアプリケーションに適している化学機器や医療インプラントなどです

• グレード2 (Gr2):最も広く使用されている商業的に純粋なチタングレードで,強度と耐腐蝕性のバランスを提供しています.航空宇宙,海洋,医療アプリケーションで使用されています.

• グレード5 (Gr5): Ti-6Al-4Vとして知られるこのチタン合金には,より高い強度のために6%のアルミと4%のバナジウムが結合されています.この合金では,一般的に航空宇宙,生物医学機器,高性能コーティング.

4チタン・スプッター・ターゲットの一般的なサイズ

タイタンのスプッターターゲットは,特定のアプリケーションと堆積システムの要件に応じて,さまざまな標準サイズで提供されています.一般的な直径と厚さは以下のとおりです.

• Φ100*40 mm
• Φ98*40 mm
• Φ95*45mm
• Φ90*40 mm
• Φ85*35mm
• Φ65*40mm

これらの標準サイズに加えて,チタンスプッターターゲットは,特定の寸法や材料組成に基づいて,特定の顧客の要求を満たすためにカスタマイズすることができます.

5目標要件

スプッター標的の質は,堆積されたフィルムの質に大きく影響する.チタンスプッター標的の主要な要件には,以下のものがある:

• 高度な純度: 高度な純度が,堆積されたフィルムがその特性や性能に影響を与える不純物から自由であることを保証するために不可欠です.

• 均質な結晶粒:標的は均質な結晶構造を持つべきで,一貫した噴射と均質な薄膜の堆積のために重要です.

• 良いコンパクト性: 標的は,スプッターが均等かつ効率的に発生することを確保するために,密集し,よく形成された構造を持つべきである.

• 低汚染度:標的には,半導体やナノ材料などの高精度アプリケーションに不可欠な堆積プロセスを汚染する不純物が含まれないべきです.

6チタン・スプッター・ターゲットの応用

タイタンのスプッターターゲットは,様々な高度な製造プロセスで使用される.一般的な用途には,以下が含まれます.

• 電子機器: 発射されたチタンフィルムは,導電層,隔熱フィルム,スマートフォン,ディスプレイ,薄膜トランジスタなどの電子機器の磁気コーティングに使用されます.

• 半導体:チタンとその合金材は,インターコネクト,コンデンサ,その他の必須部品のための半導体装置の製造に使用されます.

• 航空宇宙:チタンフィルムは,高強度重量比,耐腐蝕性,耐磨性が不可欠な航空宇宙および軍事アプリケーションの部品に適用されます.

• オプティカルコーティング:チタンスプッターターゲットは,光学コーティング (反射フィルム,鏡,光学フィルターなど) の薄膜を堆積するために使用されます.

• ナノ材料:チタンフィルムは,催化,太陽電池,電池電極,ナノチューブアプリケーションのための特定の特性を持つナノ材料の作成に使用されます.

• 医療機器:チタンスプッターフィルムは,特にインプラントや外科用器具に生物互換性のあるコーティングを作成するために,生物医学アプリケーションで使用されます.

化学的要件

材料:

1) Ti/Al合金目標 (67:33,50%:50%

2) W/Ti合金目標 (90:10wt%),

3) Ni/V合金目標 (93:7, wt%)

4) Ni/Cr合金目標 (80:2070歳30, wt%),

5) アル/Cr合金目標 (70:30,50%:50%

6) Nb/Zr合金目標 (97:3,90体重10%)

7) Si/Al合金目標 (90:1095: ほら598: ほら270歳30, wt%)

8) Zn/Al合金標的

9) 高純度クロム目標 (99.95%,99.995%)

10) アル/Cr合金目標 (70:3050: ほら5067: どういうこと?33% で

11) Ni/Cu合金目標 (70:3080歳20, wt%)

12) アル・アンド合金目標 (98:2wt%)

13) Mo/Nb合金目標 (90:10, wt%)

14) TiAlSi合金目標 (Ti/Al/Si=30/60/10,33/67,40/50/10,wt%および%)

15)CrAlSi合金目標 (Cr/Al/Si=30/60/10,wt%および%)

タイタン の 種類 を 理解 する

タイタンは,その組成と性質に基づいて様々なグレードに分類される.グレード1 (Gr1) は商業的に純粋なチタンであり,優れた耐腐蝕性および高柔性で知られています.グレード2 (Gr2) も商業的に純粋ですが,強度が少し高い, より幅広い用途に適しています.Ti-6Al-4Vとしても知られるグレード5 (Gr5) は,アルミニウムとバナジウムを含む合金で,強度と重量比が優れています.ストレスの下での高性能を要求するアプリケーションに理想的です.

チアル合金にはチタンとアルミニウムが組み合わさり,硬さと熱安定性が向上します.耐磨性 と 高温 の 性能 を 求め て いる コーティング に 特に 価値 ある もの です.これらのチタン品種と合金類のユニークな特性により,様々なPVDアプリケーションに有利な選択になります.コーティングの質が最終製品の性能に直接影響する場合.

PVD コーティング の 中 で の 噴射 標的 の 役割

発射対象は PVD コーティングプロセス中に 高速の電荷粒子で 爆撃される材料です原子は表面から放出され,基板に堆積されます対象材料の選択は,特定の要求に応じたコーティングのカスタマイゼーションを可能にする結果のフィルムの特性に直接影響します.異なるターゲット材料を選択することでアルミニウム,銅,チタン合金など,製造者は超硬さ,耐磨性,耐腐蝕性を含む異なる特性を持つフィルムを生産することができます.

タイタンのスプッターターゲットの場合,優れた粘着性,低摩擦性,高硬さを示すフィルムを生産する能力が特に有益である.航空宇宙などの産業での応用には不可欠ですGr1, Gr2, Gr5とTiAlチタンターゲットを利用することで,重要な部品の性能と耐久性を向上させるコーティングが作れる.

噴射 標的 を 理解 する

スプッタリング (sputtering) は,様々な基板に薄膜を形成するために使用される沉着技術である.このプロセスは,標的物質を,典型的にはイオン,標的の表面から原子を放出するこの放出された原子は 薄膜を形成して 基板に堆積しますスプートリング は,厚さ や 組成 を 正確 に 制御 し て 均一 な コーティング を 生み出す 能力 に よっ て,医療 分野 で 好ま れる.

チタンを含む金属標的は,有利な機械的特性,耐腐蝕性,生物互換性により,医療分野において特に価値があります.耐久性/重量比と人間の組織にシームレスに統合する能力のため,医療用に使用されています..

医療 の 応用 に おける チタン の 重要性

医学界ではチタンは例外的な材料です 主に生体適合性があるからです骨科の義肢や歯科用具などの長期のインプラントに最適ですさらに,チタンの耐腐蝕性は,人間の体内でしばしば見られる厳しい環境でもその整合性を維持することを保証します.

噴射標的として使用すると,チタンは,さまざまな医療機器の特定の要件を満たすためにカスタマイズすることができます.このカスタマイゼーションには,純度レベルなどのパラメータを調整する,穀物構造蓄積されたフィルムの性質に直接影響する.

医療産業におけるスプッターターゲットの応用

カスタマイズされたチタンスプッターターゲットは,以下を含む様々な医療用途で使用されています.

• 整形器具:チタンコーティングは整形器具の表面性能を向上させ,生物互換性を向上させ,磨きを軽減します.機械的な重荷に耐えるインプラントでは 極めて重要です.

• 歯科インプラント: 噴射されたチタンコーティングは,歯科インプラントの骨統合を改善し,周囲の骨組織とのよりよい結合を促進します.

• 外科用道具:スプッターで塗装することで,外科用道具の硬さと耐腐蝕性を高めることができます.寿命を延長し,繰り返し不妊サイクルで性能を維持する.

• 薬剤配送システム:革新的なスプッター技術により,制御された薬剤の放出を促進し,治療の有効性を向上させる超薄膜の開発が可能です.

医療用チタン:

タイタン,特にグレード1とグレード2は,生物互換性,強度,軽量性のために医学および生物医学分野で高く評価されています.身体に害を及ぼさないし,アレルギー反応を起こす可能性もないため,医療機器に一般的に使用されます..

チタン の 主要 な 医療 用法:

1. 整骨 植入 器: 骨 の 特性 を 模倣 する ため,チタン は 骨 の スクリュー,プレート,関節 置換器,脊髄 植入器 に よく 用い られ ます.
2. 歯科インプラント:チタン の 生物 互換性 と 耐久性 は,耐久性 と 腐食 耐性 を 高い 歯科インプラント に ぴったり な 選択 に なり ます.
3. 医療用器具: 耐腐蝕性があるため,外科用道具,針,スカルペル,その他の医療用器具は,しばしばチタンまたはチタン合金で作られています.
4. 義肢: タイタンは,軽量と強さの組み合わせのために義肢とインプラントの製造に使用されます.
5. 心血管器具:チタンは,ヒト体内で反応しない性質があるため,ペースメーカーケース,ステント,バルブの製造に使用されます.
6. 耐磨性コーティング:チタンスプッターターゲットは,耐磨性を高め,摩擦を軽減し,生物互換性を向上させるために,医療機器に薄いコーティングを堆積するために使用できます.

チタン級:

結論は

TiAl合金を含むチタン合金噴射標的は,航空宇宙から電子機器,生物医学に至る産業におけるコーティングアプリケーションに使用される汎用材料です.この材料は強さなどの 特殊な特性を持っています耐腐食性,生物互換性,耐磨性があり,耐久性があり高性能な薄膜を必要とする要求の高いアプリケーションに最適です.タイタンのスプッター標的を選ぶとき合金組成,純度,標的幾何学などの要因は,噴射過程で最適な結果を達成するために考慮する必要があります.

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