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空気のための記述の水素の酸素の真空メッキ機械ガスのマス フローのコントローラー
MFC1000の実装技術の使用は同じ管の直径の下の流れの異なった範囲を測定することを可能にし大量生産は高いridiculousness、高性能および安価を保障する。
空気と目盛りが付いているプロダクトはアルゴン、二酸化炭素、酸素または一酸化炭素(笑うガス)にガスの選択命令によって転換する。
広い応用範囲、多数の働く条件を扱うためにセット1。ガス媒体:空気、窒素、酸素、アルゴン、水素、二酸化炭素および他の乾燥した、きれいな、そして非腐食性のガス
空気のための技術仕様の水素の酸素の真空メッキ機械ガスのマス フローのコントローラー
データ | 数字 |
測定範囲 | 20 / 50/100/200/500/1000 sccm、2/5/10 20/50SLPM |
正確さ(口径測定の条件の下で*) | + (1.5% +0.5%FS) |
反復性 | +-0.5%FS |
ゼロ漂流のフル レンジの漂流 | 0.5%FS/年 |
働く範囲の範囲の調節可能な比率 | 100:1 |
最高の制御可能な流れ | 102%FS |
典型的な応答時間 | 100MS |
時間始めなさい | 70MS |
働く温度 | 0-+50℃ |
*温度の漂流:相違のいつも口径測定の温度S0℃によって、正確さは0.12%を増加した |
プロダクト モデル | フル レンジ圧力損失は大気に出た | 装置のサイズmm3 | パイプ継ぎ手 |
MFC1000-20/50sccm | 200Pa | 63.5*66.5*22.5 | 1/8" NPTの女性 |
MFC1000-100/200sccm | 1000Pa | ||
MFC1000-500/1000sccm | 1000Pa | ||
MFC1000-2/5SLPM | 5kPa | 70.5*74.2*26.0 | 3/8" NPTの女性 |
MFC1000-10/20SLPM | 35kPa | ||
MFC1000-50SLPM | 50kPa | 101.5*68.5*35.0 | 3/8" NPTの女性 |
空気のための次元の水素の酸素の真空メッキ機械ガスのマス フローのコントローラー
空気のための最高の正当な働く圧力水素の酸素の真空メッキ機械ガスのマス フローのコントローラー
最大許容働く圧力:
MFc1000.20/50/100/200/500/1000sccm:2/5sLpM:145psig (1Mpa)
MFc1000.10/20/50sLpM:59psig (0" 4Mpa)
パイプライン圧力が最大吸入圧より高かったら、最大吸入圧の下で圧力を調節するために空気入口の前部で圧力調整器を加えなさい。
空気のための順序ガイドの水素の酸素の真空メッキ機械ガスのマス フローのコントローラー
空気のための設置注意及びパイプ継ぎ手の水素の酸素の真空メッキ機械ガスのマス フローのコントローラー
設置注意
シリーズ マス フローのコントローラーの底のInsrtal
MFc1000Theの穴は装置のインストールのために使用され、固定は、糸のサイズM3である。まっすぐな管の区分は装置の入口または出口の管に要求されない。
パイプ継ぎ手
ことを装置の矢と同じ方向の気流確認しなさい。
装置の入口および出口のサイズは(プロセス システムに接続される) 1/8" NpTまたは3/8" NpTの女性糸である。
私達は糸の漏出を防ぐのにテフロン テープ傷のシールを使用することを推薦する。
装置ボディにかかわる原料ベルトの可能性を最小にするために装置ボディに最も近い2本の糸の原料ベルトを紛糾させてはいけない。
装置とプロセス配管間の関係でペンキか密封剤を使用してはいけない。装置ボディを書き入れるそのような混合物はマス
フローのコントローラーへの永久的な損害を与える。注意深く糸の開口部の残りの未加工テープそして残骸をきれいにするために接合箇所を取り替えた場合。
空気のための適用水素の酸素の真空メッキ機械ガスのマス フローのコントローラー