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DAD3350 ウェーハ ダイシング マシン X 軸切断範囲 260mm 1.8 KW、2.2 KW
プロセス品質
剛性の高いブリッジ型フレームの採用と、熱収縮や振動を防止する主軸前部支持構造の採用により、より安定した加工点が得られます。
プロセス管理
オートアライメント、オートフォーカス、オートカーフチェックなどの画像認識機能を搭載し、設備の生産性を向上。また、エアブロー機構やコンタミ防止用のレンズシャッターを搭載しています。オプションとして、低倍率の顕微鏡を追加してラフな位置合わせを行うことができます。状態監視により、加工状態や各種状態を随時把握できます。切断水の流れを制御するオンスクリーン切断水管理システムなど、高度なプロセス制御機能をオプションとして追加できます。
仕様
仕様 | ユニット | 1.8kW | 2.2kW | |
---|---|---|---|---|
最大。ワークサイズ | - | Φ8インチ(250mm×250mm、Φ300mmユーザー指定仕様) | ||
X軸 | 切削範囲 | んん | 260 | |
切削速度 | mm/秒 | 0.1 ~ 600 | ||
Y軸 | 切削範囲 | んん | 260 | |
インデックスステップ | んん | 0.0001 | ||
インデックスの位置決め精度 | んん | 0.002/260 | ||
Z軸 | 最大。脳卒中 | んん | 32.2 | 31.4 |
移動解像度 | んん | 0.00005 | ||
繰り返し精度 | んん | 0.001 | ||
θ軸 | 最大。回転角度 | 度 | 380 | |
スピンドル | 定格トルク | N・m | 0.29 | 0.70 |
回転数範囲 | min-1 | 6,000 ~ 60,000 | 3,000 ~ 30,000 | |
機械寸法(W×D×H) | んん | 900×1,050×1,800 | ||
機械重量 | kg | 約。1,200 |
* 製品の外観、機能、仕様、およびその他の詳細は、技術的な変更により変更される場合があります。
※ご使用前に標準仕様書をよくお読みください。