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1,記述:
材料: ターグメント標的材料は,通常,高純度トルフスタンまたはトルフスタン合金から作られ,物理蒸気堆積 (PVD) プロセスで使用するために特別に設計されています.
高度な溶融点: タングステンは,約3422度 (6,191度) の非常に高い溶融点を持っています.PVDプロセスで発生する高温に耐えるようにする.
密度: ターゲット材料は高密度で,通常は1立方センチメートル (g/cm3) あたり17.8〜19.3グラムで,高い堆積率と効率的な材料利用を保証します.
2,仕様:
材料 | 高純度ウルフスタンまたはウルフスタン合金 |
溶融点 | 約 3,422 度 摂氏 (6,191 度 華氏) |
密度 | 17.8 - 立方センチメートルあたり19.3グラム (g/cm3) |
熱伝導性 | 優れた熱伝導性 |
発射率 | 比較的低い発射率,最小限の材料損失 |
純度 | 高度な純度,最小限の不純度 |
統一性 | 正確な寸法と均質性により,一貫したフィルム堆積が可能です. |