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PVDコーティング ウルグメント合金製品 ウルグメント目標 99.95% Min.
ターゲットは高溶点の希少金属で,周期表の第6期 (第2期) のVIBグループに属する.タングステン ターゲットは 鉄 に 似ている 白い 金属 ですタングスタムは高溶融点,低蒸気圧,低蒸発率を持っています.
パラメーター
オーダーデメリット (OD) | ID (mm) | 長さ (mm) | オーダーメイド |
140〜300 | 120〜280 | 100~3300 |
モデル番号 | W1 | |||
形状 | オーダーメイド | |||
化学組成 | 99.95%W |
仕様
原子番号 | 74 |
CAS番号 | 7440-33-7 |
原子質量 | 183.84 [g/mol] |
溶融点 | 3420 °C |
沸点 | 5555 °C |
密度 20 °C | 19.25 [g/cm3] |
結晶構造 | 身体を中心とした立方体 |
20 °C の線形熱膨張係数 | 4.410-6[m/mK] |
20°Cでの熱伝導性 | [W/mK] |
20 °C の特異熱 | 0.13 [J/gK] |
電気伝導性 20 °C | 18.2106[S/m] |
20°Cの特異電圧抵抗 | 0.055 [(mm2) /m] |
応用
半導体
化学蒸気堆積 (CVD)
物理蒸気堆積 (PVD) ディスプレイ