製品説明:
- ワイファーカセットは,優れた保護性能,反静的特性,良好な互換性により,半導体産業で不可欠なツールになりました.
- ウェーバーカセット (Wafer cassette)
は,半導体ウェーバーを保管し,輸送するために特別に設計された装置で,半導体製造,試験,包装プロセスで広く使用されています.
特徴:
半導体製造技術が進歩し より洗練された装置を製造するにつれ,ウエファーカセットの設計も
進歩しました.半導体製造には,今やより高い自動化レベルが含まれています.ツールアップタイムとスループットが増えるより高いプロセス温度,追加のマスク層,および複合半導体材料.静電放電からの保護高温での排出量を減少し,次元安定性と粒子を改善します.
ワッフルカセットは,様々な用途に適するように設計され,以下の性質を有することがあります.
- 1枚から複数のウエフを収納する能力,通常は輸送または保管のために25枚まで.
- オープンサイドウォール配置で,簡単にワッフル操作を可能にします.
- カセットの中心にトラックノッチを配置し,自動化された材料処理システムとプロセスツールの信頼性の高い操作のために上部レールにピンと穴を設置します.
- 材料処理システム用のハンドルまたはフレンズを持つ端壁構成.
材料 | 耐熱度 | 資産 | 適用する |
PFA カセット | 200~220°C | 強い酸,強いフッ化水素酸,強い塩基抵抗性 | アシド・ベース加工用 |
PPカセット | 40~60°C | メリット: 軽量,溶接可能 欠点: 簡単に歪める |
一般的な移転プロセス
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PC カセット | 80~100°C | 軽量,溶接可能 |
PEI カセット | 130~150°C | 耐着性,反静的 |
なぜアメリカを選んだのか
- 高品質の材料:私たちの製品は高品質で化学的に耐性のある材料で 輸送や保管中にクレーンを効果的に保護し,使用期間を延長します
- ユーザーフレンドリーなデザイン:エルゴノミクス デザイン は,操作 を より 便利 に し,操作 者 の 疲労 を 軽減 し,作業 の 効率 を 向上 さ せる.
- 優れた密封性能効率的な密封設計を採用することで,外部の汚染を防止し,内部の環境を清潔に保ち,ウエファーに影響を受けないようにします.
- 高品質の材料:私たちの製品は高品質で化学的に耐性のある材料で 輸送や保管中にクレーンを効果的に保護し,使用期間を延長します