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製品説明:
* 耐磨性,滑らかな硬いコーティングのアルミ
* 350°Cまで耐熱 (Al)
*スムーズなスロット入力と形 真空通気スクリュー
* SEMI 標準による設計
応用:
*ウエフルは,プラスチック加工カセットの典型的な構造基準の上限である110°F (43°C) を超えた温度でカセットで加工されます.
* 化学蒸気沉着 (CVD),急速熱処理 (RTP),ウェーファー焼却のアプリケーションを含む.
焼き物- 長期にわたる熱調理用で,ウエフを数日間オーブンに置く必要がある場合.
* 処理装置では,ウエフルの挿入温度 (ウエフルの処理ツールから取り出す) がプラスチックケースの溶融点を超えている場合.
* 内部環境 カセット - カセットが加熱真空環境 (室) で複数のプロセスステップで無効状態にあるクラスターツール自動化環境.
* 精密なキャリア要件 - 適度な熱で自動化された環境では,プラスチックカセットが提供できない寸法精度が必要です.
* 要求に応じてカスタマイズできます. 薄いウエファー処理 - 薄いウエファー処理中に,鋭い薄いウエファーがプラスチックケースに切られます.厚いウエファー - スロットサイズのために業界標準のプラスチックカセットが使用できない結合または厚いウエファーアプリケーション.
製品サイズ | 288 (L) *276 (W) *205 (H) mm |
容量 | 25PCS |
部品材料 | 6061 アルミプレート |
スタート位置 | 12.5mm |
スロット距離 | 6.34mm |
* プロセスのアルミボックス: (Al,HC) 8 〜 25 スロット,スラントスロット (標準)
* サイズ: サイズ カバー (上), (下) カバー (上),カスタム H-BAR (下) H-BAR (上)
* アルミ,耐磨性,滑らかな硬いコーティング
* 滑らかな溝と形 空気扇風機スクリュー
* SEMI 規格に準拠して設計された
証明書と特許:
品質認証 |
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アルミ合金材料の試験報告 |
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輸出免許 |
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その他の証明書 |
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梱包と輸送:
体重 の 制限 |
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サイズ仕様 |
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文書管理 |
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連絡先:
レインボー・ジュさん
テレフォン:86 15712074114
ファックス:86-0755-29960455 について
キャシー・シンさん
ワットサンプ:+86 18732969316
ウェチャット:XYX1230s