Ffu 空気コンディショニング フィルタリング システム 片方向の空気流システム 塵のない作業

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わかったクリーンルームとは?わかった

A についてクリーンルーム(あるいは)クリーンルーム) は,空気のフィルタリングと汚染物質制御技術を使用して,微粒,有害ガス,微生物などの汚染物質を排除する閉ざされた空間です.温度を含む環境パラメータを正確に制御しながら精密製造と科学研究のための制御された超清潔な環境を提供すること.主な特徴は以下の通りである.


わかったI. 基本機能と技術的特徴わかった

  1. わかった汚染管理能力わかった

    • 高効率の過濾システム (例えば,HEPA/ULPAフィルター) を利用し,≥99.97%の効率で≥0.3μmの粒子を除去し,ISOクラス5 (旧クラス100) またはより高い清潔基準を達成する
    • 外部からの汚染を防止したり,危険物質を内側から含むため,正圧または負圧システムを使用する (生物安全用)
  2. わかった複数のパラメータのシネージ制御わかった

    • 温度 (±0.5°C精度),湿度 (±5%RH精度),空気流速 (0.3~0.5m/sラミナル流量),圧力差 (5~20Pa),照明/ノイズレベルを動的に調節する
    • トルブランスによる粒子の堆積を防ぐため,全体室を通る均等な空気流の分布を保証します.

わかったII.分類基準及び適用わかった

  1. わかった清潔さ の 評価わかった

    • 米国連邦標準FS 209Eに基づく分類には,クラス1 (≤1粒子/ft3 ≥0.5μm),クラス10 (≤10粒子/ft3) およびクラス100までが含まれます.000
    • 集積回路製造には,1000級より優れた清潔度が必要で,バイオ医薬品の操作は通常100級 (ISOクラス5) を要求する.
  2. わかった産業特有の調整わかった

    • わかったエレクトロニクス産業: チップ製造および半導体包装は,静電放出と粒子汚染を防止するために,クラス1 〜 100の清潔性を要求します.
    • わかったバイオ医薬品結末のない薬の生産と細胞培養は,クラス100の清潔性と微生物制御に依存します.
    • わかった精密光学: レンズコーティングとレーザーコンポーネントの組み立てには,振動のない温度と湿度安定した環境が必要です

わかったインフラストラクチャとコアコンポーネントわかった

  1. わかった基本システムわかった

    • わかった空気処理装置: 主要/中等効率の前フィルター,HEPAフィルター,ファン,総会室を含む.
    • わかった環境制御システム: 温度/湿度制御装置,差圧センサー,ラミナル空流装置
  2. わかった補助施設わかった

    • 静止性のない床,気密のドア/窓,UV消毒ランプ,空気シャワー (人材消毒通路)

わかったIV. 従来の実験室と違いわかった

クリーンルームは 汚染に敏感な操作をすべてのパラメータの包括的なダイナミック制御標準的な実験室では,温度,湿度,または単一変数にのみ焦点を当てています..例えば,電子部品のナノスケール加工には,粒子 (≤10粒子/ft3),静電 (≤100V),温度変動 (≤±0.3°C) の同時制御が必要です.

 

テクニカルデータ

 

清潔度レベル最大許容される塵数/立方メートル微生物の最大許容数
/≥0.5um≥5um空気中の微生物/立方メートル安定する微生物数/容器·30分
10035000

5

1
1000035000020001003
10000035000002000050010
3000001050000060000/15

 

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