LED産業における 1200°Cのプロセス温度のための高温耐性セラミックノズル

産地:中国製
最低注文量:交渉可能
配達時間:交渉可能
支払条件:交渉可能
形状:ノズル
耐久性:長持ちする
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確認済みサプライヤー
Jinhua Zhejiang China
住所: 6号 シュアンジン通り 九州工業街 九州街 武城区 津原市
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製品詳細

LED産業における 1200°Cのプロセス温度のための高温耐性セラミックノズル

 

この製品は,LEDの製造プロセスのために特別に開発され,高精度ガス圧力シンターリングによって99.8%高純度シリコンナイトリド (Si3N4) を使用して製造されています.超高い清潔度で高温耐性と耐腐蝕性があり,厳格なMOCVD設備要件を満たしています.

LED 製造 応用

  • MOCVD機器:MO源とNH3ガスの正確な分布

  • エピタキシアル成長:反応室で均質なガス注入

  • チップ製造:保護ガス配送システム

  • 梱包プロセス: リンゴスプレーの原子化

  • 試験装置:光学検査ガス制御

LED 産業 の 利点

✓超高い清潔度:金属イオン含有量 <1ppm
✓高温耐性: 1200°Cのプロセス温度に耐える
✓ ガス汚染ゼロ:粒子の排出はなく
✓精密な流量制御: ±1%の流量精度
✓ 寿命が長い: 5000回以上熱サイクルに耐える

LED特異パラメータ

パラメータ仕様試験基準
物質 の 清潔さSi3N4≥99.8%GDMS
粒子排出量≤5粒/ft3 (≥0.1μm)SEMI F24
表面の荒さRa≤0.05μmISO 4287
熱変形≤0.01mm@1000°CASTM E228
退屈 な 耐性±0.005mmVDI/VDE 2617
ガス吸着≤0.01%DIN 1343

清潔 な 製造 プロセス

  1. 材料の準備:

    • ナノ粉末 (D50≤0.3μm)

    • 粉末のないボールフライリング (10級クリーンルーム)

  2. 形状とシンタリング:

    • イソスタティックプレス (200MPa)

    • 超清潔なシンタリング (100級環境)

  3. 処理後:

    • プラズマ浄化 (表面の浄化)

    • 超音波DI水浄化

  4. パッケージ:

    • 二重真空包装

    • ISOクラス4 クリーンバッグ

使用ガイドライン

設置: 100 級 クリーンルーム 操作が必要
️ガス制御:高純度99.999%のガスを使用する
温度管理:加熱速度 ≤5°C/分
維持: 500 時間ごとにヘリウム漏れ検査

専門サービス

  • 延長保証: 18ヶ月

  • 清潔性試験:自由粒子排出量試験

  • 迅速な対応: 12 時間間の技術サポート

  • プロセス最適化: ガス流域シミュレーション

よくある質問

Q:MO源の提供の純度をどのように保証しますか?
A: 三重の保証:
1 表面Siの消化
2 クラス100 清潔なパッケージ
3 設置前のプラズマ清掃

Q:ノズルの詰まりを処理する?
A: 推奨:
• 200W超音波 + DI 水浄化
• 機械 的 な 棒 の 清掃 は ない
• 専門 の 清掃 サービス が 提供 さ れ ます

Q: 異なる表頭軸層との互換性?
A: 設定可能なオプション:

 

  • 多孔配列構造

  • 漸進的な穴位設計

  • 特殊な角度配置

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LED産業における 1200°Cのプロセス温度のための高温耐性セラミックノズル

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