半導体オーブンのSEOシリーズ
モデル番号:SEO-100N
産地:シェンゼン,広東省,中国
最低注文量:≥1pc
支払条件:T/T
配達時間:25~50日
パッケージの詳細:パライウッドの箱
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Shenzhen Guangdong China
住所：
サネスト・イン・パーク,ノー13, 永平2丁目,フヨン通り,バオアン地区,深?? 市,広東州,中国
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内 27 時間
製品詳細
会社概要
製品詳細
半導体オーブン SEOシリーズ
製品概要
半導体オーブンSEOシリーズは、窒素雰囲気環境下での優れた気密性を備えた、大容量PID調整機能を特徴としています。半導体ウェーハの硬化、ICパッケージ、ガラス基板向けに設計されており、優れた温度均一性と安定性を提供します。
主な仕様
| 属性 | 値 |
|---|---|
| モデル | SEO-100N |
| 寸法 | 1700(L)*1200(W)*1800(H)mm |
| 重量 | 500-800kg |
| 総電力 | 21KW |
| 温度精度 | ±0.5℃ |
| 温度範囲 | 室温+10℃～250℃ |
コアテクノロジー
- 水平空気再循環: 大容量システムにより、優れた温度均一性を確保
- 完全密閉チャンバー: 窒素効率のための優れた気密性を備えたステンレス鋼構造
- 高温モーター: 安定した高温動作のための大型タービンブレードを備えた長軸モーター
- 精密制御: 0.5℃の精度とプログラム可能なプロセスプロファイルを備えたPID調整
- クリーンルーム対応: 半導体製造向けの千クラスのクリーンルーム規格に適合
- 酸素制御: デュアルチャネル分析により、酸素濃度を50PPM以下に維持
システムの特徴
チャンバー構造
調整可能な気流を備えた上部および下部の熱風循環システムを特徴としています。高品質のステンレス鋼と層状ブラケットで構成されており、最適な空間利用を実現しています。
窒素システム
リアルタイムモニタリング用の複数の流量計と酸素分析計を装備しています。酸素濃度を500PPM以下に維持します（100PPMのオプション）。
冷却システム
フィンラジエーターブラスト技術を備えた水冷により、冷却時間を短縮し、急激な温度変化による製品の損傷を防ぎます。
安全保護
過熱保護、酸素濃度監視、窒素圧力アラーム、電子安全ロック、および非常停止スイッチが含まれています。
性能検証
粒子濃度≤35,200 (0.5μm) は、千クラスのクリーンルーム規格に適合しています。
PID制御による高精度温度制御により、均一な熱分布を確保します。
技術的パラメータ
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| ボックス寸法 | 700(L)*550(W)*(600*2)(H)mm |
| 動作モード | 2つの独立したボックス（1～4オプション） |
| 温度均一性 | ±1.5℃（無負荷） |
| 加熱時間 | ≤15分（200℃無負荷） |
| 冷却速度 | 2～5℃/分 |
| 清浄度クラス | クラス1000 |
設置要件
ガス源: 窒素純度99.999% at 0.5-0.8Mpa
電源: 380V 50/60HZ 三相五線式、25mm²ケーブル
環境: 温度範囲5～40℃、相対湿度20～95%
床荷重: 最小1000kg/m²
半導体オーブンのSEOシリーズ
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