ドアロックモード グラファイトと半導体装置のための真空堆積炉

バキューム堆積炉は,炭素-炭素複合材料の準備に使用される.堆積炉は主にグラフィートの表面にピロリティカルカーボンコーティングを準備するために使用されます半導体装置と耐熱スクール材料

適用範囲:

グラフィット 半導体装置 耐熱スクーリング材料

1基本パラメータ:

1) 設計温度: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) 一般温度: 900~1200°C

3) 真空度: < 50Pa

4) 圧力の上昇速度:空炉の冷たい状態で6.67pA/h (または150Pa/24h)

5) 加熱モード:グラフィット抵抗加熱またはインダクション加熱,独立温度制御,良好な温度均一性

6) 大気中:真空 /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) ガス制御モード:質量流量計制御,多チャンネルガス経路,均質な流量フィールド,沉積死角なし,良好な沉積効果

多段階で効率的な排気ガス処理システム 環境に優しい 清掃が簡単

8) オーブンの種類:四角形,丸形,垂直形または水平形 (非標準設計),完全に閉ざされた堆積室,密封効果良好,強力な防汚染能力

9) 炉冷却モード: 炉殻水冷却,外流速冷却システムを選択できます,短冷却時間,高生産効率

2. 真空堆積炉の構造:

構造形:横向き - 側放出,垂直 - 上下放出

オーブンのドアロックモード:手動/自動

オーブンの殻材料:内部のステンレス鋼/全ステンレス鋼

隔熱材料:炭素フェルト/グラフィットフェルト/炭素繊維で固められたフェルト

暖房,マフルの材料:グラフィット/CFC

赤外線機器:単色計/二色計

電源:KGPS/IGBT (中周波暖房のみに適している)

製造仕様:

   Hunan Jingtan オートメーション機器株式会社2021年に設立され,生産基地は2014年に設立されました. 研究開発,生産,販売,サービスを統合するハイテク企業です.中国で熱設備の有名な主要なメーカーになりました現在3500m2をカバーする2つの工場を持っています. 主な製品は真空シンタリングオーブン,シリコンカービッドシンタリングオーブン,高温グラフィティゼーションオーブン,蒸気堆積オーブン,高温炭管炉,真空炭化炉,真空ホットプレス炉,真空インダクション溶融炉,など. 私たちの会社によって生産された機器は,広く航空宇宙,電子機器,輸送に使用されています.機械鉄金,セメント化カービッド,耐火性金属,特殊陶器,炭素炭素複合材料半導体材料や太陽電池,その他数十の加工・製造産業と分野高品質の製品と完璧なサービスで,ほとんどのユーザーの信頼と賞賛を得ています.

我々は常に科学技術企業,継続的なイノベーションに固執し,科学研究機関と主要な大学との協力に注意を払っています.熱設備を製造し,業界をリードする顧客に対応するプロセス技術的サポートを提供します.ユーザの心配を 解消するために.

同社は,多くのユーティリティモデル特許認証を有し,ISO9001:2015品質管理証明書を有し,設備のためのCE,ULその他の製品証明書を提供することができます.顧客のニーズを常に満たすために, "方向的なアプリケーション,開発に焦点を当て, 顧客の要求に応じてカスタマイズ"効率的な特徴的なサービスを提供します. 私たちの会社は,いくつかの国内最初のケースがあります.塩素ガスシンテリングオーブン (製品純度99%まで作れる).9999%),超高温グラフィティゼーションオーブンの温度は3200度まで,真空ホットプレスオーブンの重量は800トンまで.

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