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属性 | 値 |
---|---|
硬度(微小硬度) | 80~150GPa |
ヤング率 | 1150~1300GPa |
摩擦係数 | 0.05~0.05 |
熱膨張係数 | 10-.K-l |
熱伝導率 | 1500-2000 w/(m·K) |
窒素含有量 | <50ppm |
色 | 無色 |
結晶成長プロセス | CVD |
単結晶ダイヤモンドCVD(化学気相成長)は、制御された条件下で炭素含有ガスを分解し、基板上に単結晶ダイヤモンド層を形成するCVDプロセスを使用して製造されます。
マイクロ波プラズマアシスト化学気相成長(MPACVD)を使用して製造され、マイクロ波共鳴が炭素含有ガスを分解してプラズマを生成し、タイプIIbダイヤモンドシード結晶の100、110、111方向にホモエピタキシャル成長を可能にします。
3x3x0.3mmから15x15x0.3mmまで、さまざまな増分で利用可能