200kg対応クリーンルームローラーコンベアライン半導体向け PLC/手動制御システム

モデル番号:GTC-17

原産地:中国

支払条件:信用状、D/A、D/P、T/T、ウェスタンユニオン、マネーグラム

供給能力:10000セット/月

配達時間:7-10

パッケージの詳細:木製の箱

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Shenzhen Carst Technology Co., Ltd.

確認済みサプライヤー

Shenzhen China

住所：黄浦ランヘ工業公園寮建物3102,南東振東路,黄浦コミュニティ,新川通り,深?? 市バオアン地区

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製品詳細会社概要

製品詳細

ドラムコンベアライン

半導体製造用ウルトラクリーンローラーコンベアシステム

クラス1～100のクリーンルーム環境向けに設計された、当社のコンタミネーションフリーローラーコンベアは、半導体製造全体を通して、パーティクルフリーのウェーハとチップのハンドリングを保証します。この高精度システムは、フロントエンドおよびバックエンドプロセスにおいて、SEMI F72およびISO 14644-1規格に適合しています。

重要な性能特性:

<0.1μmの粒子放出 - フォトリソグラフィおよびエッチングエリア向けに認証済み
セラミックコーティングローラー - 非金属、非ガス発生表面
層流エアフロー統合 - クリーンゾーンの完全性を維持
振動制御 - <0.05μmの振幅でナノスケールのアライメントを実現

生産上の利点:

99.99%の汚染リスクを排除
高感度プロセスで30%高い歩留まり
ファブツールの統合のためのモジュール設計

300mmウェーハファブ、MEMS製造、および高度なパッケージングに最適です。オプションで、AMCろ過およびRFID追跡が利用可能です。

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製品パラメータ

フレーム材質	アルミニウム/鉄/リーンパイプ	カスタマイズを受け入れます
ベルト幅	一般：200-1000MM	カスタマイズを受け入れます
作業台の高さ	一般：500-1200MM	カスタマイズを受け入れます
搬送速度	一般：0-12M/MIN
アクセサリーブランド	有名な中国ブランド	カスタマイズを受け入れます

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