製品詳細
半導体シリコンウエファーのための全自動超音波洗浄機
高度半導体製造のために再定義された精密浄化
半導体シリコンウエフルの超高い清潔性要求を満たすために設計されたJTM-10720AD超音波浄化システムで 最先端の技術とインテリジェントな自動化を組み合わせます
300mmと200mmのウエファー用に設計されています有機残留物薄膜堆積処理で欠陥のない性能を保証します.
モジュラルの10タンク設計とSEMI対応材料により,安定した結果をもたらします製造前および製造後の重要な清掃の可復性
- 40kHz高周波カビテーション:
微小な泡を発生させ 表面に爆発し 物理的な接触なしに 0.2μm の粒子を排出します
光抵抗性残留物,金属汚染物,繊細な半導体材料からの原生酸化物. - 10タンク統合作業流程:
- タンク1〜2: 重い残骸を緩めるため,DI水とメガサウンドの混ぜで洗います.
- タンク3〜6: 化学溶液 (RCA浄化用 SC1/SC2) で60~100°Cで超音波浄化により有機物質やイオン汚染物質を除去する.
- タンク7-9: 交差汚染を防ぐため,多段階DI水で超濾過 (0.1μm) を用いて洗浄します.
- タンク10: DryN2TM 熱した窒素 (≤5%RH) で迅速乾燥システムで,汚れのない静的のない表面を手に入れます.
- PLC + HMI インターフェース:
15インチタッチスクリーンは100以上のカスタムレシピのプログラミング,パラメータのリアルタイムモニタリング
(温度,超音波電力,洗浄流量) およびOEE (全体的な設備効果) トラッキングを可能にします. - ロボット式ウエファー処理:
テフロンで覆われたグリッパーを搭載した精密ロボットアームは,タンク間の柔らかい,端が安全で,粒子生成と破損を最小限に抑え,ウェファーの移転
(≤1.5m/s速度) を保証します.
- 湿った部品:
電気磨きされた316Lステンレス鋼 (Ra < 0.2μm)
とPTFEから製造されたタンクとノズルで,金属イオンの溶解と化学腐食を排除する. - 閉ループフィルタリング:
0.1μmの膜フィルターとUV酸化による再循環フィルタリングシステムは,化学物質の消費量を60%削減し,清掃液の純度 (TOC
< 5ppb) を確保します.
会社概要
Jietai
Ultrasonicは2005年に設立され、環境超音波洗浄装置、廃水浄化装置、表面処理装置、および関連システムの専門メーカーです。研究開発、生産、販売、エンジニアリングサービスを統合したハイテク企業として、技術革新と持続可能な開発に尽力しています。
「技術主導、環境浄化、卓越性の追求、誠実さ重視」という理念に基づき、お客様のニーズとサービスを深く掘り下げています。私たちの目標は、包括的な競争力を高め、業界に価値を創造し、環境に優しいソリューションを通じて社会の進歩に貢献することです。
当社の事業は、電子機器、家電製品、光学機器、繊維、半導体、太陽光発電シリコンウェーハ、精密機械、ハードウェア、スタンピング、工具、自動車製造、MIM-CIM、航空宇宙、通信機器などの主要産業に及び、ユーザーから深い信頼を得ています。2016年以来、Gute
Ultrasonic(証券コード:832018)を含む多くの有名企業と長期的な戦略的パートナーシップを確立し、非標準製品の研究開発、生産、販売、アフターサービスを全面的に担当しています。2006年に華東地域に進出して以来、徐々に全国に拡大し、「華南を拠点とし、全国に広がり、グローバルに展開する」という戦略的レイアウトを形成しています。当社の装置は現在、ヨーロッパや米国を含む100以上の国と地域に輸出されています。
厳格なISO9001:2015品質管理システムの下で運営されており、イノベーションにおいて業界をリードしています。当社の超音波洗浄装置は、CE、FCC、RoHSなどの認証を取得しており、50件以上の製品特許を取得しており、国際的な同等レベルの技術基準を保証しています。
2021年には、生産能力を拡大するため、支店を設立し、東莞市厚街鎮ゴールデンタウンに10,000㎡の工場を購入しました。優秀な技術人材を採用し、高度な最新の生産および試験設備を導入することにより、生産管理にERPシステムを導入し、すべてのデバイスがプレミアム品質基準を満たし、グローバルな競合他社と同等の技術力を維持しています。
低炭素経済、環境保護、省エネ、排出削減に関する国の政策に沿い、「技術的環境保護の卓越性の追求」をミッションとしています。「研究開発をコアとし、マーケティングをリーダーとする」という戦略のもと、継続的に革新し、製品構造を最適化し、マーケティングサービスをアップグレードしています。「誠実、実用主義、革新、相互利益、重力」という価値観に基づき、再生可能資源の利用におけるリーダーとなり、グローバルな健康的な生活環境に貢献することを目指しています。