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単一データ取得技術を採用した粗さプロファイリング用の統合機で、センサー交換の必要がなく、寸法、形状、うねり、粗さの包括的かつ精密な測定を可能にします。これにより、操作プロセスが簡素化され、測定効率が向上するだけでなく、測定結果の精度と一貫性も保証されます。
技術パラメータ
統合センサー | Z1軸測定範囲 | 20mm |
Z1分解能 | 1.2nm | |
輪郭精度 | Z1直線精度 | ≤±(0.5+|0.02H|)μm |
円弧 | ±(1 + R/12)μm | |
円弧Pt | ≤0.3μm | |
角度 | ±1′ | |
真直度(カットオフ波長0.8mm) | 0.3um/100mm | |
粗さ精度 | 指示精度 | ≤±(6nm + 2.5%) |
残留ノイズ | ≤0.006μm | |
繰り返し精度 | 1δ≤1nm | |
カットオフ波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
評価長さ | λC×2、3、4、5、6、7 | |
駆動速度 | X軸駆動方式 | 電動 |
Y軸駆動方式 | 電動 | |
大理石寸法 | 500mm × 800mm | |
テーブル材質 | 天然大理石 |