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表面形状測定器は、高精度部品の微細形状分析専用に設計された測定デバイスであり、高精度な測定能力と優れた安定性を特徴としています。
精密製造の分野では、従来の一次元測定方法だけでは、現代の産業が部品に求める厳しい品質要求を満たすには不十分です。従来の寸法検出は部品の幾何公差を反映できますが、表面の微細形状が部品の性能に与える重要な影響を捉えることは困難です。
形状測定器は、従来の測定方法の限界を打ち破り、高精度部品の微細形状分析専用に設計されています。高度な接触センサー技術を採用し、ナノメートルからマイクロメートルまでの表面形状を正確に測定します。
技術パラメータ
測定範囲 | X軸 | 120-220 mm |
X軸分解能 | 1.2 nm | |
Z軸 | 420 mm、620 mm(オプション) | |
プロファイルセンサー | Z1軸測定範囲 | 30-60 mm |
Z1分解能 | 1.2 nm | |
プロファイル精度 | Z1直線精度 | ≤±(0.5 +|0.02H|) μm |
円弧 | ±(1 + R/12) μm | |
円弧Pt | ≤0.3 μm | |
角度 | ±1′ | |
真直度 | 0.3 μm/100 mm(カットオフ波長0.8) | |
駆動速度 | X軸駆動方式 | 電動 |
Y軸駆動方式 | 電動 | |
最大測定速度 | 2 mm/s | |
大理石寸法 | 500 mm × 800 mm | |
カウンタートップ 材質 | 天然大理石 |