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3仕様
機械モデル | NC5050 | NC6060 | NC-8010 | NC1010 | |
作業台 | X/Y軸移動 mm | 500*500 | 600*600 | 800*100 | 1000*1000 |
Z軸移動 mm | 効果的な距離は245mm 焦点付けは200mm 作業距離は95mm | ||||
メンタルテーブルサイズ mm | 900*900 | 1000*1000 | 1200*1450 | 1450*1450 | |
グラステーブルサイズ mm | 550*550 | 650*650 | 850*1050 | 1050*1050 | |
ドライブタイプ | X/Y/Z軸の精密線形導体,X/Y軸の精密光学軸駆動,Z軸の磨きボール螺旋駆動 | ||||
測定駆動システム | オプティカルスケール解像度:X/Y/Z軸 0.0005mm(0.5μm) | ||||
測定精度:≤3μm+L/200 繰り返しの精度:≤3μm+L/200 | |||||
Z軸高性能サーボモーター,ダブル閉ループ制御システム | |||||
画像システム | カメラ: 日本製 SONY CCD ビデオ拡大幅 30-230X | ||||
レン:高画質ズームレンズ/連続拡大0.7-4.5X 0.5Xのレンズとマッチできる 全拡大15〜155X 2Xのレンズとマッチできる 全拡大60~460X | |||||
照明システム | 表面光と投影光 寒い光 寿命長さと明るさ調整 | ||||
機械の外側の寸法 | 1700*1200*1750 | 1800*1300*1750 | 2200*1600*1750 | 2600*2000*1750 | |
体重 kg | 1400 | 2000 | 2400 | 3000 |