ICPエッチングウェーハホルダー 炭化ケイ素 Sicプレート LED業界
原産地:中国
支払条件:信用状、D/A、D/P、T/T、ウェスタンユニオン、マネーグラム
供給能力:2,000 PC/月
パッケージの詳細:強力な木製の箱 グローバル輸送のために
モデル番号:カスタマイズ可能
材料:シック
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確認済みサプライヤー
Chaoyang Shaanxi China
住所：
中国陝西省西安市西咸新区秦漢新城渭城街道朝陽路5号、712039
サプライヤーの最後のログイン時間:
内 25 時間
製品詳細
会社概要
製品詳細
炭化ケイ素（SiC）トレイまたはプレート、LED業界のICPエッチングプロセス用ウェーハホルダーとして
説明:
LED業界のICPエッチングプロセス用ウェーハホルダーとして使用される炭化ケイ素（SiC）トレイまたはプレート。
炭化ケイ素（SiC）は、優れた熱伝導性、耐食性、低い熱膨張性を備えています。炭化ケイ素は、シールリングやベアリングに最適な材料です。炭化ケイ素トレイは、優れた耐食性、優れた耐摩耗性、高温下での優れた機械的強度を備えています。当社は、さまざまなサイズの炭化ケイ素トレイおよびその他のSiC製品を供給しています。
炭化ケイ素トレイの特性:
| 化合物組成 | SiC |
| 分子量 | 40.1 |
| 外観 | 黒色 |
| 融点 | 2,730℃（4,946°F）（分解） |
| 密度 | 3.0～3.2 g/cm3 |
| 電気抵抗率 | 1～4 10x Ω-m |
| ポアソン比 | 0.15～0.21 |
| 比熱 | 670～1180 J/kg-K |
炭化ケイ素トレイの仕様:
| タイプ | 再結晶SiC | 焼結SiC | 反応焼結SiC |
| 炭化ケイ素の純度 | 99.5% | 98% | >88% |
| 最高使用温度（℃） | 1650 | 1550 | 1300 |
| かさ密度（g/cm3） | 2.7 | 3.1 | >3 |
| 外観気孔率 | <15% | 2.5 | 0.1 |
| 曲げ強度（MPa） | 110 | 400 | 380 |
| 圧縮強度（MPa） | >300 | 2200 | 2100 |
| 熱膨張（10^-6/℃） | 4.6（1200℃） | 4.0（<500℃） | 4.4（<500℃） |
| 熱伝導率（W/m.K） | 35～36 | 110 | 65 |
| 主な特性 | 高温。高抵抗。 高純度 | 破壊靭性 | 耐薬品性 |
特徴要件:
- 優れた熱伝導性
- プラズマショックへの耐性
- 良好な温度均一性
用途:
-炭化ケイ素は、半導体やコーティングなどの分野に適用できます。
-当社の炭化ケイ素トレイは、LED業界で広く使用されています。
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