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先進的なパッケージング・ウェーファーレベル・アンダーフィール&フルックスジェット・マシン
GS600SW ウェッファーレベル下注填剤は,次世代向けに設計された Mingseal の旗艦配給モジュールですウェーファーレベルパッケージング (WLP) と高度な再配分層 (RDL) プロセス高度な詰め込みとフルックススプレー処理に対応するために構築され,ファンアウト・ウェーファーレベルパッケージング (FoWLP),CoWoS,超高精度とプロセス一貫性が必須である FoPoPアプリケーション.
高安定性の線形モータートランスミッション,精密な螺旋駆動Z軸, 完全に統合された視力調整システムGS600SWはマイクロレベルの点位置と経路制御を保証します頑丈なワッフルチャックテーブル卓越した平らさと温度均一性を有します欠陥のない下詰めの性能に欠かせない
GS600SWは,不充填の配給に加えて,スプレーバルブモジュールをオプションで配置して,ワッフル表面に均等に流体または接着剤を適用できます.多段階のフリップチップやRDL包装ラインを扱う製造業者にとってプロセス柔軟性を高める.
主要 な 利点
8インチと12インチのウエファーに最適化
標準200mmと300mmのウエーファーに対応し,調節可能なチャックテーブルとウエーファーカセットオプションを備えています.
双重プロセス準備: 満たし不足 + 流体噴霧
オプションのスプレーバルブモジュールは,フルックスコーティングやプレソードアデッシオンプロセスを処理する能力を拡張します.
精密 な ウェーファー 温度 制御
均質な加熱とリアルタイムフィードバックの 先進的な真空チャックテーブルは 安定した材料流量と真空のない充填を保証します
極細点精度
X/Y定位精度 ±10μm,Z軸重複度 ±5μmは,RDL First構造に対して一貫した結果をもたらす.
典型的な用途
✔ RDL 初のファンアウト WLP
✔ CoWoS (チップ・オン・ウェーバー・オン・サブストレート)
✔ FoPoP (パケットにパケットを入れ)
✔ ウェッファー レベル の 満たし の 不足
✔ ワッフル レベル の 流体 噴霧
✔ 半導体 フリップ チップ 梱包
✔ 再配分層 粘着コーティング
テクニカル仕様
清潔度レベル | 作業場の清潔さ | クラス100 (クラス1000 ワークショップ) クラス10 (クラス100のワークショップ) |
適用範囲 | ウェーファー構成 | φ200±0.5mm/φ300±0.5mm (標準版は12インチのみに対応) |
ウェファーの厚さ | 300~25500 μm | |
マックス 容認可能なワファー・ウォープ | 5mm (Fingerモデル選択による) | |
ワッフル重量 | 600g (Fingerモデル選択による) | |
サポートされているウェッファーボックスタイプ | 8インチオープンカセット/12インチフープ (標準版は12インチのみをサポート) | |
ジェットシステム | トランスミッションシステム | X/Y: 線形モーター Z:サーボモーター&スクリューモジュール |
繰り返し性 (3シグマ) | X/Y:±3 μm Z:±5 μm | |
定位精度 (3シグマ) | X/Y:±10 μm | |
マックス スピード | X/Y:1000mm/s Z: 500mm/s | |
マックス 加速 | X/Y:1g Z:0.5g | |
視覚系 | ピクセル | 130W |
精度 を 特定 する | ±1ピクセル | |
範囲を特定する | 10*12mm | |
光源 | 赤,緑,白の組み合わせた光 +赤の追加照明 | |
計量するシステム | 精度 を 計る | 0.01mg |
チャック・テーブル | 真空吸入平面性偏差 | ≤30μm |
熱温の偏差 | ±1.5°C | |
リフティングの高さの繰り返し性 | ±10μm | |
バキューム吸気圧 | -85~-70KPa (設定可能) | |
一般的な条件 | 足跡 W × D × H | 3075*2200*2200mm (D)画面を展開する) |
体重 | 2900kg | |
パワー | 16.5KW | |
操作環境温度 | 23°C±3°C | |
操作環境湿度 | 30~70% |
よくある質問
Q1: GS600SWは,どの特殊なウエファーレベルのアプリケーションを標的にしているのでしょうか?
A: RDL First Fan-Out
WLP,CoWoS,およびFoPoPプロセスのために設計されており,細かな不充填制御とフルーススプレーの両方が必要です.
Q2: ワッフルサイズとワープを どう処理しますか?
A:
標準の8インチと12インチのウエファーで,最大25500μmの厚さと最大5mmのウォープ耐性をサポートし,柔軟なウエファーボックス互換性があります.
Q3: 完全に自動化されたラインに組み込めるか?
A: はい.Mingsealの PC101EFEMと連携して,自動でホイール処理,前調整,AMHSロボットのドッキングができます.
Q4:なぜミングシールを ウェーファーレベルの配給に選んだのか?
半導体補給と流体配給の 長年の経験を持つ Mingsealは 精密機械を統合した
安定した制御生産性とコスト効率を次のレベルに到達する.
結論
ミングシールは,グローバル半導体および先進パッケージングメーカーのための
線形およびウエファーレベルの配送ソリューションの信頼できるサプライヤーです.インテリジェント制御5G,高性能コンピューティング,AIチップの市場のために
欠陥のない製品を提供します.