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構成 モデル | Lion-700-ION | Lion-1000-ION | Lion-1300-ION | Lion-1600-ION | Lion-1800-ION | Lion-2000-ION | Lion-2200-ION |
チャンバーサイズ(MM) | D700*H700 | D1000*H1200 | D1300*H1500 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2000*H2400 | D2200*H4000 |
真空システム | 拡散ポンプ/分子ポンプ + ルーツポンプ + 二段直接駆動ロータリーポンプ + ホールディングポンプ + 極低温ポンプ(オプション) | ||||||
アーク 電源 | 4セット | 8セット | 12セット | 16セット | 20セット | 24セット | 40セット |
アークソース | 4セット | 8セット | 12セット | 16セット | 20セット | 24セット | 40セット |
バイアス 電源 | 12KW | 20KW | 30KW | 40KW | 60KW | 60KW | 80KW |
ガス MFCシステム | 4方向吸気システム | 4方向吸気システム | 4方向吸気システム | 4方向吸気システム | 4方向吸気システム | 4方向吸気システム | 4方向吸気システム |
ベーキングシステム | 最大350℃ | 最大350℃ | 最大350℃ | 最大350℃ | 最大350℃ | 最大350℃ | 最大350℃ |
制御システム | PLC | ||||||
究極真空 | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa |
総電力 | 50KW | 75KW | 145KW | 190KW | 250KW | 305KW | 455KW |
コーティング サイクル時間 | 1サイクルあたり約15〜50分(コーティング製品のコーティング膜層によって異なります) | ||||||
配送コンテナサイズ | 1セット20GP | 1セット20GP | 1セット20GP | 1セット40HQ | 1セット40HQ | 1セット20FR 1セット40GP | 1セット20FR 2セット40HQ |
機械設置時間 | 7日間 (1人のエンジニア) | 7日間 (1人のエンジニア) | 7日間 (1人のエンジニア) | 10日間 (2人のエンジニア) | 10日間 (2人のエンジニア) | 15日間 (2人のエンジニア) | 20日間 (2人のエンジニア) |