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ライオンキングマルチアークイオンメッキ機械
テクノロジーの概要
マルチアークイオンメッキは、高電流アーク(100〜500 a)を使用して、真空チャンバー(圧力<10〜²トーラ)で金属またはセラミックターゲットを蒸発させるPVD技術です。イオン化された蒸気は、バイアス電圧によって基質に向かって加速され、優れた接着を備えた密な超硬いコーティングを形成します。この方法は、工業用および装飾的な用途向けの窒化物、炭化物、酸化物膜の堆積に優れています。
作業原則
アーク蒸発:高電流アークは、ターゲット表面を攻撃し、イオン化された金属蒸気を生成します。
血漿加速:基質の負のバイアスはイオンを引き付け、膜密度と接着を高めます。
反応性ガスの紹介:酸素または窒素を導入して、スズやクルーオーなどの化合物を形成できます。
重要な利点
高い堆積速度:大規模生産に最適な1〜5μm/hのフィルム厚さを達成します。
硬度と耐摩耗性:Tialnのようなコーティングは、最大3000 hVの硬度を示し、ツールの寿命を3〜5倍に延長します。
均一なカバレッジ:プラズマ拡散率による複雑な幾何学(例、ネジ、ギア)に有効。
腐食抵抗:密なフィルムは、過酷な環境(例えば、海洋または自動車)から保護します。
応用産業
ツーリングと金型:切削工具、 ドリルビット、パンチ および精密金型。
ガラス製品:ガラスカップ、ガラスランプ、ガラスアートワーク。
ハードウェア:衛生用品、ドアノブ、ロック、カトラリー。
自動車:ピストンリング、合金ホイール、エンジンコンポーネントと装飾トリム。
消費財:ストラップとケース、携帯電話ケース、ジュエリー、ペンを視聴してください。 耐久性のある、スクラッチ耐性の金または黒の仕上げ。
医療:滅菌、バイオ互換手術器具用のコーティング。
コーティング効果と色
この機械は、ゴールデン、ローズゴールド、ブロンズ、アンティークブロンズ、コーヒー、青、紫、黒など、ステンレス鋼製品にあらゆる種類の色を取得できます。
表面仕上げ:ミラーのようなメタリックラスターまたはマットテクスチャ。
カラーオプション:ゴールド(スズ)、ブラック(CRN)、青(チアル)、レインボーグラデーション。
模倣ゴールドシリーズ:Tin、Zrn、Tin+Au、Zrn+Au
ローズゴールドシリーズ:TICN、TIALN、TICN+AU、CU、TIALN+AU、CU
シルバーホワイトシリーズ:CRN、CRSIN、ZR(Micro N)
グレーシリーズ:TI、ステンレス鋼(SS)、(SS)n
コーヒーカラーシリーズ:TICN、TIALCN、ZRC
ブルーシリーズ:Tio、Cro、Tialn
ブラックシリーズ:TIC、TIC+IC、TICN、TIALN、TIALCN、TI(C、O)、DLC
構造タイプ
垂直チャンバー:小さな部品のバッチ処理用に最適化されています。
水平チャンバー:フラットまたは円筒形の基質への大規模な堆積に適しています。
基板材料
金属(ステンレス鋼、アルミニウム)、セラミック、ハードプラスチック。
コーティング材料
金属:TI、CR、ZR、AL。
窒化:スズ、CRN、ZRN。
炭化物:WC、チック。
生産ラインのサポート
事前の洗浄システム(例えば、超音波浴)およびポストコーティング熱処理と統合します。
消耗品
ターゲットロッド(TI、CRなど)、反応性ガス(n₂、o₂)、および冷却水。
アプリケーション
切削工具:高速加工用のティアンコーティング。
装飾的なハードウェア:耐食性仕上げのドアハンドルと蛇口。
航空宇宙:エンジンコンポーネント上の高温コーティング。
カスタマイズ
当社のシステムは、調整可能なアークソース、プラズマ強化堆積モジュール、およびテーラードコーティング性能のための自動プロセス制御を特徴としています。
モデル |
ライオン-1215ion |
ライオン-1818ion |
ライオン-2236ion |
ライオン-2545ion |
lion-2270ion |
寸法 |
D1250*H1500mm |
D1800*H1800mm |
D2200*H3600mm |
D2500*H4500mm |
D2200*L7000mm |
読み込み能力 |
1000*1300mm最大 |
1500*1500mm最大 |
シート:1250*2500mm |
シート:1250*2500mm |
シート:1250*2500mm 10ピース/バッチ |
機械のサイズ |
L5*W5*H2M |
L6*W6*H2.5M |
L6*W8*H11.5M |
L8*W8*H12.5M |
L20*W8*H2.5M |
電源 |
電気電力、フィラメントパワー、 パルスバイアス電源 |
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プロセスガス制御 |
質量流量計 +電磁セラミックバルブ |
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真空チャンバー |
垂直の上部開口部ドアまたは水平な開いた玄関、ポンプシステムのポストポジション、二重水冷却 |
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真空システム |
拡散ポンプ +根ポンプ +機械ポンプ(5.0*10-4ペンシルベニア州) |
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ワークピースベーキング温度 |
通常の温度から350セント度PID制御、放射加熱。 |
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ワークモーションモード |
パブリック回転周波数制御:1分あたり0〜20回転 |
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測定モード |
番号表示複合真空ゲージ:大気から1.0*10まで-5PA |
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制御モード |
手動/自動/PC/PLC + HMI/PCコントロールモードの選択 |
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述べる |
顧客の特別な手法の要件に応じて、機器の次元を設計できます。 |
マルチアークイオンコーティングマシン(マルチアークイオンメッキマシンとも呼ばれる)は、物理蒸気堆積(PVD)テクノロジー分野のコア装置であり、高性能の機能的および装飾的なコーティングの準備に広く使用されています。その機能は、その作業原理(標的材料を蒸発させ、粒子をイオン化するためのアーク放電を使用)および産業用途のニーズに密接に関連しています。以下は、技術的なパフォーマンス、機能的柔軟性、およびアプリケーションの適応性に分類される主要な機能です。
1.高イオン化効率と強力なコーティングの接着
これは、マルチアークイオンコーティングマシンの最もコア機能であり、独自のアーク蒸発メカニズムに根ざしています。
アーク駆動型イオン化:機械は、高電流、低電圧アーク放電を使用して、標的材料の表面(例えば、チタン、クロム、ジルコニウム)を攻撃します。 ARCエネルギーは即座に溶融して標的を蒸発させ、蒸発した粒子は強くイオン化されます(イオン化速度は60%〜90%に達する可能性があり、マグネトロンスパッタリングのような他のPVD技術よりもはるかに高くなります)。
イオン爆撃の強化:イオン化された標的粒子は、ワークピースに適用される負のバイアス電圧の作用の下で、ワークピース表面に向かって加速されます。この「イオン爆撃」プロセスは、ワークピースの表面をきれいにする(酸化物や汚染物質を除去する)だけでなく、コーティング粒子が基質表面に浸透して(単純な物理的癒着の代わりに)冶金結合を形成するようにします。その結果、コーティングの接着は大幅に改善されます。これは、典型的には20〜80 MPaに達し、剥離せずに摩擦、衝撃、熱サイクリングに耐えることができます。
2。ターゲット材料とコーティングの種類への幅広い適応性
機械は、さまざまなターゲット材料に一致して、さまざまな組成と機能を備えたコーティングを準備し、多様な産業ニーズを満たしています。
多様なターゲットの互換性:純粋な金属ターゲット(TI、CR、AL、ZR、CU)、合金ターゲット(TIAL、TICR、ZRNB)、さらにはセラミックターゲット(TIN、Al₂O₃、CRN)をサポートします。
多機能コーティング:ターゲット材料とプロセスガス(n₂、ar、o₂、c₂h₂)を調整することにより、次のコーティングを準備できます。
装飾的なコーティング:ハードウェア、時計、衛生用品用のTin(金)、Ticn(Rose Gold)、CRN(Silver-Gray)。
耐摩耗性コーティング:ティアーン(切削工具用)、CRN(金型用)、WC/C(機械部品用)最大2000〜4000 hV(ステンレス鋼よりもはるかに高い)。
耐性耐性コーティング:酸化酸(酸化物セラミック)、ZRN(海洋成分用)酸、アルカリ、塩スプレーに抵抗します。
機能的コーティング:ヒートシンクのTIC(高い熱伝導率)、摩耗および自己潤滑表面のDLC(ダイヤモンド様炭素)。
3.優れたコーティングのコンパクトさと均一性
高いイオン化速度とイオン加速プロセスにより、コーティングの密度が高く、均一な厚さがあります。
低気孔率:電界ガイダンスの下で「順序付けられた配置」でワークピース表面にイオン化された粒子が堆積し、従来の蒸発コーティングで簡単に形成されるギャップやボイドを避けます。通常、コーティングの多孔度は1%未満であり、腐食性媒体(水、化学物質など)の浸透を効果的にブロックできます。
良好な均一性:アークソースの数とレイアウト(マルチARC設計、通常は2〜8アークソース)を最適化し、ワークピースの回転速度を調整し、バイアス電圧分布を制御することにより、マシンはさまざまな形状(深い穴、溝、湾曲した環境などの複雑な部品でさえ均一なコーティングの厚さを実現できます。厚さの偏差は一般に±5%以内に制御されます。
4.正確なプロセスパラメーター制御と安定した生産
最新のマルチアークイオンコーティング機には、コーティングの品質の一貫性を確保するための高度な制御システムが装備されています。
マルチパラメーター調整可能:キープロセスパラメーターは、次のことを含めて正確に制御できます。
ARC電流(ターゲット蒸発速度とイオン濃度を制御);
ワークピースバイアス電圧(コントロールイオン加速エネルギーとコーティングの接着);
真空学位(10〜³-10⁻⁵PA、不純物干渉がないことを保証);
ガス流量(反応性ガス濃度とコーティング組成を制御)。
自動制御:ほとんどのモデルは、PLCまたは産業コンピューター制御を採用し、プリセットプロセスレシピ(100以上のパラメーターを保存)、およびパラメーターのリアルタイムモニタリング(ARC安定性、真空レベル、コーティングの厚さ)をサポートします。これにより、人間の動作エラーが減少し、バッチ生産の安定したコーティング品質が保証されます。
5。環境に優しさと高い生産効率
従来のコーティング技術(たとえば、電気めっき)と比較して、環境保護と効率における明らかな利点があります。
緑と汚染のない:このプロセスは、不活性ガスまたは反応性ガス(シアン化物や重金属などの毒性化学物質はありません)を使用し、廃棄物液、廃棄物残留物、または有害な排気を生成しません。厳格な環境基準を満たしています(例えば、EU ROHS、中国GB 21900)。
高堆積速度:ARC放電の蒸発効率が高いため、コーティング堆積速度は2〜10μm/h(マグネトロンスパッタリングよりも速い)です。たとえば、厚さ2〜5μmの装飾的なスズコーティングは、大量生産に適した30〜60分で完了できます(たとえば、10,000以上のハードウェア部品の1日の出力)。
6.ワークサイズと形状への強力な適応性
小さな部品から大きなコンポーネントまで、さまざまな仕様のワークピースを処理できます。
ワークサイズの範囲:マイクロパート(電子コネクタ、監視部品)から大きなコンポーネント(たとえば、直径1〜2メートルの自動車エンジン部品、金型コア)まで、ワークピースを真空チャンバーに配置できる限り(産業モデルの場合は0.1m³〜10m³)。
複雑な形状の互換性:PVDの「見通し」制限は、マルチARCレイアウトとイオン加速により削減されます。ブラインドホール(深さと直径の比率≤3:1)を備えたワークピースまたは溝の場合、コーティングの厚さの均一性は依然として産業要件を満たすことができます。
コアの利点の概要
機能カテゴリ |
主なパフォーマンスの利点 |
典型的なアプリケーションシナリオ |
接着と硬度 |
冶金結合、20-80 MPA接着、2000-4000 HV硬度 |
切削工具、金型、機械的摩耗部品 |
材料の柔軟性 |
金属、合金、セラミックをサポートします。多機能コーティング |
装飾的なハードウェア、腐食耐性コンポーネント |
構造と均一性 |
低気孔率(<1%)、±5%の厚さ偏差 |
精密部品、医療機器(例、整形外科インプラントなど) |
環境と効率 |
廃棄物なし、2〜10μm/h堆積速度 |
自動車部品、家電の大量生産 |
要するに、マルチアークイオンコーティングマシンは、高いコーティング性能、機能的柔軟性、および工業生産効率のバランスを取り、高度な製造、新しい材料、表面工学の分野でかけがえのないコア機器になります。
仕様:
モデル |
ライオン-9090イオン |
ライオン-1012イオン |
ライオン-1214イオン |
ライオン-1416イオン |
ライオン-1618イオン |
ライオン-1820イオン |
真空チャンバーサイズ |
φ900×900mm |
φ1000 ×1200mm |
φ1200 ×1400mm |
φ1400 ×1600mm |
φ1600 ×1800mm |
φ1800× 2000mm |
総電力 |
30-60kw |
35-65kw |
40-80kw |
40-80kw |
75-100kw |
120-150KW |
バイアスパワー |
20kw/set |
20kw/set |
40kW/セット |
40kW/セット |
50kw/set |
60kW/セット |
テクノロジー |
マグネトロンスパッタリング、PVDイオンコーティング、真空コーティング |
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作業ガス |
N2、O2、AR、C2H2 |
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真空チャンバーの材料 |
優れたステンレス鋼の真空チャンバー |
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真空チャンバー構造 |
垂直、側面のドア |
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ワークピースターンテーブル |
惑星フレーム、革命 +回転 |
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ワークピースベーキング温度 |
室温から450°Cまで制御可能で調整可能 |
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電源タイプ |
アーク電源、砲撃バイオス、暖房電源 |
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究極の真空 |
≤8×10-4Pa、圧力上昇率≤0.67pa/h、ポンプダウン時間(排気速度):原子から8x10-3PA≤20分へ |
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真空システム |
オイル拡散ポンプ +機械ポンプ +メンテナンスポンプ +根ポンプ(ポンプの数は顧客のニーズに応じて設計されています) |
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制御モード |
マニュアル、セミオート、オート、タッチスクリーン操作、PLCまたはコンピューターコントロール |
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冷却システム |
水冷システム |
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アークソース |
4-6ユニット |
8 -10ユニット |
10 -16ユニット |
14 -16ユニット |
16 -18ユニット |
18 - 20 ユニット |
マグネトロンターゲット |
2 |
2 |
2-4 |
2-4 |
2-4 |
2-4 |
機器エリア |
6-15m2 |
10-15m2 |
15-30m2 |
15-30m2 |
20-35m2 |
30- 40M2 |
その他の技術的パラメーター |
水圧≥0.2MPa、水温≤25°C、空気圧0.5-0.8MPa |
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述べる
|
コーティング装置の特定の構成は、コーティング製品のプロセス要件に従って設計できます |
特徴
1.ターゲットの表面全体でアークが迅速に移動し、ターゲット表面が均一にエッチングされるようにします。これにより、フィルムの接着が最適化され、コーティング表面が滑らかで密度が高くなります。
2.バッチのターンオーバー効率とコーティング生産効率を高速化します。
3.機械は、利用可能なコーティング範囲で厚さの均一性を確保できます。
4.高品質のハードコーティングにより、切削工具がより高い切断と給餌速度を提供し、サービスの寿命を延ばしてツールの交換時間を短縮し、それにより総処理コストを削減します。
5。コーティングの大きな摩擦と硬度により、機械加工された部分の高品質の表面を得るために、潤滑と冷却が少なくなります。
マルチアークイオンメッキ(MAIP)マシンさまざまな電源に依存して、プラズマを生成および制御し、材料の蒸発を調節し、フィルムの成長に影響を与えます。これらの電源は、接着、密度、組成などのコーティング特性を決定するために重要です。マルチアークイオンメッキ(MAIP)マシン 電源は主に彼らによって分類されます出力波形そして制御ロジック。最も一般的なタイプは、DC電源、パルスDC(PDC)電源、および(頻度ではない)無線周波数(RF)電源です。
MAIP電源の比較分析
以下の表は、3つの主要なタイプのコアの違いをまとめたものです。
パラメーター |
DC電源 |
パルスDC(PDC)電源 |
RF電源(ハイブリッド) |
出力波形 |
連続DC |
周期パルス(オン/オフ) |
高周波AC(13.56 MHz) |
アークの安定性 |
低い(暴走しやすい) |
High(オフタイムは不安定なアークを消す) |
非常に高い(優れたイオン化) |
マクロ粒子含有量 |
高い(コーティング量の> 5%) |
低い(コーティング量の<1%) |
非常に低い(ゼロ近く) |
堆積速度 |
高(1〜5μm/h) |
中程度(0.7〜4μm/h) |
非常に低い(<0.5μm/h) |
料金 |
低い($ 10k以下) |
中程度($ 15k〜 $ 50k) |
ハイ(> $ 1万) |
ターゲットの互換性 |
導電性金属/合金 |
導電性金属/合金(反応性に優しい) |
導電性 +絶縁材料 |
典型的なコーティング品質 |
適度 |
高い |
超高 |
電源選択に関する重要な考慮事項
適切な電源を選択することは、4つの重要な要因によって異なります。
1。コーティング要件
滑らかさ/欠陥耐性:マクロ粒子が受け入れられない場合(たとえば、医療インプラント、光学系)、PDCまたはRFを選択します。
堆積速度:大量生産(例えば、HSSツール)には、DCが推奨されます。
コーティングタイプ:反応性コーティング(Tialn、al₂o₃)にはPDCが必要です。絶縁コーティングにはRFが必要です。
2。ターゲット素材
導電性金属/合金(TI、CR、AL):DC(低コスト)またはPDC(高品質)。
絶縁材料(Al₂o₃、Sio₂):RF(ハイブリッドシステム)。
反応性合金(Ti-Al、cr-al):PDC(ARC-GAS反応を安定化)。
3。予算
エントリーレベルの生産:DC(低いフロントおよびメンテナンスコスト)。
中程度の生産:PDC(品質とコストのバランス)。
専門R&D:RF(超高性能コーティング用)。
4。スケーラビリティを処理します
バッチ生産(大部分):DC(高速レート)。
精密バッチ生産(小さな部品):PDC(品質 +効率)。
ラボスケールR&D:RF(新しい材料の柔軟性)。
結論
電源は、MAIPマシンのパフォーマンスを定義します。
DCは、速度が重要な低品質の品質コーティングの経済的な選択です。
パルスDCは、高品質、反応性、またはマクロ粒子に敏感なコーティング(たとえば、ツール、インプラント)の業界標準です。
RFは、コストがパフォーマンスに続発する超薄型、絶縁、またはラボスケールのコーティングのための特殊なオプションです。
電源をコーティングの目標、ターゲット材料、および予算に合わせることにより、MAIPプロセスの効率とコーティングの品質を最適化できます。
ライオンキングマルチアークイオンコーティング機
I.機能の説明
ライオン-ION Multi-Arc Ion Coaterは、最適化されたドアスピンドルと回転システムと組み合わせた垂直方向のフロントドアデザインを採用しています。この構成により、最も便利な動作体験が保証されるだけでなく、スズ(窒化チタン)やティオ(二酸化チタン)などの高品質のコーティングの堆積も可能になります。
真空チャンバーは、隠された冷却ウォータージャケットを備えたSUS304ステンレス鋼で構成されています。チャンバーは細かい磨きを起こし、エレガントで耐久性のある外観をもたらします。
複数の新しく開発された多arcイオン源のセットを装備しているため、イオンスパッタリングがより均一で純粋で、すべてのコーティングサイクルで一貫した品質を備えていることを保証します。
高度なマルチチャネルガスインレットシステムと統合されており、ガス流量を正確に制御して複合膜堆積の要件を満たすことができます。
荷電粒子のエネルギーを大幅に向上させるユニポーラパルスバイアス電源が装備されているため、優れたフィルムの接着と表面仕上げを達成します。
新しく開発されたインテリジェントPLC制御システムとHMI(Human-Machineインターフェイス)が組み込まれ、コーティング操作が簡素化され、より高速かつ使いやすくなります。
ii。技術的な構成
アイテム |
仕様 |
チャンバー構造 |
リアマウントされた真空システムを備えた垂直フロントドアデザイン。高品質のSUS304ステンレス鋼で作られた真空チャンバー。 |
アークソース |
マシンモデル/サイズに合わせた複数のマルチアーク電源を構成します。 |
マルチARCターゲット |
標準構成には、複数のチタンまたはステンレス鋼のターゲットのセットが含まれます。 |
回転システム |
周波数制御を伴う惑星回転(スピン +革命)。 |
真空システム |
拡散ポンプ(分子ポンプオプション) +根ポンプ +機械ポンプ +ロータリーベーンポンプ(極低温ポンプオプション)。 |
ガス制御 |
マルチチャネル7つ星質量フローコントローラー(正確なガスフロー調節用)。 |
バイアス電源 |
シングルステージパルスバイアス電源。 |
暖房システム |
調整可能な温度範囲:室温から350°C(PID温度制御が装備)。 |
制御モード |
統合マニュアル、半自動、および自動操作。タッチスクリーンHMI + PLCコントロール。 |
究極の真空 |
5×10〜PA |
ポンピング時間 |
5分以内に5×10⁻²PAの真空レベルに到達する |
給水 |
水圧≥0.2MPa;水流≥3m³/h;水温≤25°C |
ガス供給圧力 |
0.4–0.8 MPa |
注記:
標準真空チャンバー寸法:φ2000mm×H4000 mm、φ2200mm×H4500 mm
利用可能なカスタマイズ:真空チャンバーの寸法と機器の構成は、顧客の特定の製品要件と特別なプロセスのニーズを満たすように調整できます。
iii。応用
真空マルチアークイオンコーティング機は、金属、セラミック、およびその他の材料基板の表面にコーティングを堆積させることができます。ステンレス鋼のディスプレイラック、ハンドル、配管ハードウェア、および同様の製品のコーティングに広く使用されており、従来の電気めっきに代わる理想的な代替品となっています。
キーコーティングタイプ:
金、銀、窒化チタン(スズ)、炭化チタン(TIC)、窒化ジルコニウム(ZRN)、チタンアルミニウム窒化物(TIALCRN)、およびその他の機能的金属ベースのコーティング。
コーティングされた製品の中心的な利点:
表面の硬度と耐摩耗性の向上
耐食性の改善
審美的な外観の高まり(たとえば、金属光沢、カスタマイズされた色)
機能的なコーティングの文字
コーティング 材料 |
コーティング 色 |
マイクロハード (HV0.05)) |
の係数 摩擦 |
厚さ (ええと) |
マックス サービス 温度℃ |
構造 |
特徴 |
錫 |
金 |
2400 |
0.40 |
1-4 |
500 |
単層 |
優れた硬度と吸血 |
CRN |
シルバーグレー |
2000 |
0.40 |
1-4 |
700 |
単層 |
優れた腐食と吸収性 |
ticn |
青灰色 |
3000 |
0.20 |
1-4 |
400 |
勾配複合膜 |
低摩擦係数と優れた硬度 |
Tialn |
茄子 |
3500 |
0.40 |
1-4 |
850 |
単核症レイヤーコンポジット膜 |
優れた硬度と酸化防止 |
アルティン |
紫色の黒 |
3800 |
0.45 |
1-4 |
900 |
||
tialcrn |
グレー |
3300 |
0.70 |
1-3 |
800 |
多層複合膜 |
優れた硬度、酸化防止、インパクト |
tialcn |
ローズレッド |
3500 |
0.20 |
1-4 |
800 |
勾配複合膜 |
優れた超障害と酸化防止 |
alcrn |
アッシュブラック/ 濃い灰色 |
3200 |
0.35 |
1-4 |
1100 |
単層 |
超高酸化防止温度と赤硬度 |