ウェーハレベル原子間力顕微鏡 0.1Hz - 30Hz プローブ顕微鏡
モデル番号:Atomedge Pro
原産地:中国
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Qingdao Shandong China
住所：
中国、山東省青島市、崂山区、株洲路169号
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製品詳細
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製品詳細
ウェーハレベル原子間力顕微鏡
製品モデル:
AtomMax
製品概要:
マイクロカンチレバープローブ構造を使用し、導電性、半導電性、絶縁性の固体材料の3D形態特性評価を可能にし、ウェーハレベルの大サンプル形態特性評価を実現します。光学画像と組み合わせることで、電気駆動のサンプル位置決めステージにより、200 x 200 mmの範囲内で1μmの位置決め精度を実現します。レーザーアライメント、プローブアプローチ、スキャンパラメータ調整の全自動操作が可能です。
機器性能仕様
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| サンプルサイズ | 8インチウェーハ以下に対応 |
| スキャン範囲 | 最大100μm * 100μm * 910μm |
| スキャン角度 | 0〜360" |
| 分解能 | Z軸クローズドループ分解能0.15 nm; X/Yクローズドループ分解能0.5 nm |
| スキャンプローブXY方向画像分解能 | 32x32〜4000x4000以上 |
| 動作モード | コンタクトモード、タッピングモード、位相イメージングモード、リフトモード、多方向スキャンモード |
| 多機能測定 | EFM、KFM、PFM、MFM |
アプリケーション事例
- Au-Tiストリップ電極シートの可能性
- スキャンモード：KPFM（リフトモード）
- スキャン範囲：18μm * 18μmチタンフィルム - アルミニウムチタン酸フィルム
- Au-Tiストリップ電極シートの静電界
- スキャンモード：EFM（リフトモード）
- スキャン範囲：18μm * 18μm
- Fe-Ni薄膜の磁気ドメイン
- スキャンモード：MFM（リフトモード）
- スキャン範囲：14μm * 14μm
- PbTiO3圧電素子対応の垂直振幅画像
- スキャンモード：PFM（コンタクトモード）
- スキャン範囲：20μm * 20μm
- Co/Pt薄膜
- スキャンモード：磁気力顕微鏡（MFM）
- スキャン範囲：25μm * 25μm
ウェーハレベル原子間力顕微鏡 0.1Hz - 30Hz プローブ顕微鏡
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