窒素大気 高温箱炉 化学蒸気堆積 CVD炉
モデル番号:MBF100-10
原産地:中国
最小注文数量:1
パッケージングの詳細:カスタマイズ
納期:カスタマイズ
支払い条件:カスタマイズ
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確認済みサプライヤー
Hefei Anhui China
住所：
工場ビル3ファーキシン通りとユラン通りの北交差点,経済開発区,フェイシ郡,河北市,安?? 省
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内 31 時間
製品詳細
会社概要
製品詳細
窒素雰囲気高温箱型炉 化学蒸着CVD炉
製品概要
MBF100-10 タイプ化学気相成長 (CVD) 炉は、電子製品や材料加工の中温熱処理用に設計されています。この工業グレードの炉は、窒素、ヘリウム、アセチレン、水素雰囲気下での気相反応プロセス、および保護雰囲気下での焼結プロセスをサポートします。リアルタイムコンピュータ監視システムを搭載しており、研究機関や材料プロセス試験用途に最適です。
技術仕様
| 属性 | 価値 |
|---|---|
| 製品型式 | MBF100-10 |
| 定格温度 | 750℃ |
| 最高温度 | 1000℃ |
| 加熱ゾーンの寸法 | 770×770×300mm（幅×奥行き×高さ） |
| 有効寸法 | 640×640×250mm（幅×奥行き×高さ） |
| 発熱体 | FECセラミックファイバーヒーター |
| 温度安定性 | PIDオートチューニングで±1℃ |
| 制御方法 | タッチスクリーン+PLC集中制御 |
| 重さ | 約500kg |
| 炉の寸法 | 1200×1200×1500mm（幅×高さ×奥行き） |
主な特長
- 2つの独立した制御ポイントによる高度な温度制御
- 過熱アラームや電源オフ保護などの包括的な安全機能
- 安全な操作のための低い表面温度上昇 (<35°C)
- 耐久性と熱効率を高める溶融石英の内張り
- 炉一体型自然冷却システム
- ISO認定の製造基準
- 利用可能なカスタマイズオプション
納品内容
| アイテム | 注記 | 量 |
|---|---|---|
| 炉ユニット | 1 | |
| マスフローコントローラー (MFC) | 山武または堀場 | 4 |
| タッチスクリーン | 1 | |
| 温度調節器 | 1 | |
| FECヒーター | 1 | |
| 石英ライナー | 1 | |
| 技術文書 | 仕様とコンポーネントのドキュメント | 1セット |
インストール要件
- 環境：温度0～40℃、湿度80％以下、腐食性ガスのないこと
- 床：耐荷重が 500Kg/m² 以上の平らな面
- 力：≧22kVA 三相5線（220/380V、50Hz）
- 空間：最小設置面積 1500×1500×3000mm (W×H×D)
窒素大気 高温箱炉 化学蒸気堆積 CVD炉
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