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MEMS 3軸回転低コスト MEMS回転
| パラメータ | 試験条件 | 典型的な値 | ユニット | ||
| 角速度 | 範囲 | ターンテーブル | 500 | °/s | |
| ピークからピークまでの値 | 静的試験 | 0.15 | °/s | ||
| バイアスゼロ | 安定性 | 平均10秒, +70 °C, +20 °C, -40 °C | 8 | °/h | |
| アラン偏差, + 20 °C | 1.9 | °/h | |||
| 復習性開始 | +70°C+,20°C,-40°C | 15 | °/h | ||
| ゼロバイアスの総温度変動 | -40 °C ~ + 70 °C, 1 °C/min, 10 秒間の平均, 1σ | 0.02 | °/s | ||
| バイアスゼロ | ライフサイクル変更,加速テスト | 0.1 | °/s | ||
| スケールファクター | 連続的な起動の繰り返し | +70°C+,20°C,-40°C | 100 | ppm | |
| 日々のスタートの繰り返し | +70°C+,20°C,-40°C | 200 | ppm | ||
| 月間開始 繰り返し | +70°C+,20°C,-40°C | 400 | ppm | ||
| 非線形性 | +20°C | 200 | ppm | ||
| 全温度変化 | 1°C/分,1σ | 400 | ppm | ||
| スケールファクター | ライフサイクル変更,加速テスト | 2000 | ppm | ||
| 加速感のある項 | 5 | °/h/g | |||
| ランダムな歩き方 | 0.12 | °/√h | |||
| 騒音密度 | 0.002 | °/s/√Hz | |||
| 帯域幅 | 3dB | 200 | Hz | ||
| データ遅延 | 送信時間を除く | 5ms | ms | ||
| 開始時間 | オンから出力までの時間 | 500 | ms | ||
| リセットする時間 | 復元から有効なデータ出力までの時間 (ハード復元) | 500 | ms | ||
| リセットから有効なデータ出力までの時間 (ソフトリセット) | 300 | ms | |||
| 任意の2つの軸間の非直角性の度数 | +70°C+,20°C,-40°C | 0.05 | ° | ||
| 電源 | 5±01 | V | |||
| 電力消費量 | 0.8 | W | |||
| 通信更新率 | 1方向 RS422 | 200 (デフォルト) 2000 (最大) | Hz | ||