AGP4000 MEMS 高精度デジタル表示冷陰極複合真空計ピラニ真空計

AGP4000 MEMS 高精度デジタルディスプレイ 冷式カソード複合真空計 ピラニ真空計

用途:

• 半導体製造:半導体コーティングなどの半導体製造プロセスにおける真空環境の正確なモニタリングに使用される.準確な真空度制御は,半導体製品の品質と性能にとって極めて重要ですAGP4000は,プロセスの安定性を確保するために信頼できる真空データを提供することができます.
• 航空宇宙分野:航空宇宙部品のテストやその他のシナリオでは,部品の性能をテストするために異なる真空環境をシミュレートする必要があります.AGP4000は低真空から高真空までの全範囲モニタリングを実現できます航空宇宙研究開発および試験のための重要なデータサポートを提供します.
• 精密科学研究: 高精度な真空環境制御を必要とする物理化学実験など精密科学研究においてAGP4000 は 研究 者 たち に 真空 度 の 情報 を 正確 に 入手 する 助け に なり ます実験結果の正確性と再現性を確保する.
• AGP4000は,真時で炉内の真空度をモニタリングすることができます. AGP4000は,真空炉の真空度,真空炉の真空度,真空炉の真空度,制御システムと協力して真空度調整材料の熱処理品質と炉の使用寿命を確保するため

特徴:

• 低真空から高真空 (1×10−6Pa~1×105Pa) までの全範囲の正確なモニタリングを達成できます.繰り返しの誤差 ≤±5%主要なプロセスの信頼性の高いデータ基盤を提供します.
• 二重技術 インテリジェントコラボレーション:ピラニシステムはプロセス全体で動作し,真空度が<10Paであるとき,冷たいカソードシステムは,手動の介入なしで自動的に起動します伝統的な機器の範囲制限の痛みを完全に解決します
• 強固で耐久性: 冷たい カソード の 設計 に は 熱線 が 必要 で は あり ませ ん.この 方法 は 汚染 に 抵抗 する 強力 な 能力 を 持っ ており,使用 期間 を 大幅 に 延長 し,維持 費用 を 削減 し ます.
• リアルタイムで圧力の値を動的に表示できる 高画質の TFT - LCD カラー画面を装備していますそして3つの単位 (Pa/Torr/mbar) を1つのキーで切り替える温度,通信状態,高電圧のオンオフマーク (赤/青の2色警告) を表示します.
• 双モード出力: 0~10Vの線形アナログ信号があり,PLCやレコーダーなどの産業機器に直接接続でき,ロガリズム変換式をサポートします.システムに適応しやすくするRJ45 インターフェースを通じて RS485 通信を実現し,マルチデバイスネットワークをサポートします.標準的な産業用制御システムと互換性がある知的真空モニタリングネットワークの構築を支援します
• シンプルな設置と信頼性の高い操作: 標準装備は,KF25ステンレス鋼の電気磨きフラング,優れた気密性があり,任意の方向に設置をサポートする (垂直設置が推奨される)広電圧電源 (15~30V DC) と≤6Wの電力を消費し,厳しい産業環境に適応することができます.
• インテリジェント・キャリブレーションと便利な操作: 3段階メニューベースのインターフェースデザインがあり,中国語と英語の切り替えをサポートし,通信パラメータとユニットをサイトで設定することができます.実行する 0.1Pa/大気圧の校正,そして工場設定を1つのキーで復元することもできます. これにより,操作と保守の限界値が大幅に減少します.

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