4SiH4-20 シランガスセンサー - シラン (SiH4) ガス濃度検出用

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4SiH4-20 シランガスセンサー (SiH4) ガス濃度検出用


4SiH4 - 20 シランガスセンサーは、シラン (SiH4) ガスの濃度を検出するために使用されるデバイスです。関連情報は以下の通りです。


  • 測定範囲:中国インテリジェントマニュファクチャリングネットワークの情報によると、ガス検知器メーカー向けに深セン盛凱安科技が開発した4NEシリーズセンサーの測定範囲は、シランの場合0~5/20/50 ppmであり、4SiH4 - 20センサーの測定範囲は0~20 ppmであると推測されます。
  • 検出原理:盛凱安科技が製造するシランガスは、輸入された電気化学センサーとマイクロコントローラー技術を採用しています。4SiH4 - 20センサーも電気化学原理を採用していると推測されます。電気化学センサーは通常、三電極システム(作用電極、対電極、参照電極)と液体電解質で構成され、一定電位で動作します。ガスは細孔を介してセンサーの作用電極に拡散し、電極表面で電気化学的還元反応が起こります。電流信号の大きさは、測定対象ガスの濃度に比例します。
  • 出力信号:盛凱安科技のSiH4/NE - 301ガスを参考にすると、2線式4~20mA電流信号出力(3線式オプション)とRS - 485デジタル信号出力がある可能性があります。また、2つのリレー出力(オプション)を装備することもでき、受動接点容量は220VAC 3A、24VDC 3Aです。
  • 技術パラメータ:盛凱安科技のSiH4/NE - 301ガスの検出精度は2%(F.S)、再現性は1%、ゼロドリフトは1%(F.S/年)、応答時間は20秒未満、回復時間は20秒未満、センサー寿命は24ヶ月、動作温度範囲は-20℃~+70℃、相対湿度は95%RH(結露しないこと)です。4SiH4 - 20センサーも同様の技術パラメータを持つ可能性があります。
  • アプリケーションシナリオ:シランガスセンサーは、主に半導体製造、工業生産(太陽電池製造、コーティング生産など)、環境モニタリング、研究室研究などの分野で使用され、シランガスの漏れや濃度を検出し、生産安全と環境保護を確保します。

測定対象ガスシラン (SiH4)
検出原理電気化学
測定範囲0 - 20 ppm
分解能0.1 ppm, 0.2 ppm, 0.3 ppm
応答時間<30秒
サンプリング精度±2%FS
予熱時間30秒
再現性±1%FS
ゼロドリフト≦1%FS/年
動作温度-20℃~70℃
動作湿度10% - 95%RH(結露しないこと)
保管温度-40℃~70℃
動作圧力86 kPa~106 kPa
ハウジング材質アルミニウム合金
出力インターフェース7PIN
出力信号0.4 - 2.0 VDC(通常)、4 - 20 mA、TTLオプション
デジタル信号形式データビット:8; ストップビット:2; パリティビット:なし
ボーレート9600
動作電圧DC5V±1%
動作電流≦50 mA(触媒≦100 mA)
設置方法7ピンプラグイン


China 4SiH4-20 シランガスセンサー - シラン (SiH4) ガス濃度検出用 supplier

4SiH4-20 シランガスセンサー - シラン (SiH4) ガス濃度検出用

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