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S8553 シリコン光二極管 真空紫外線VUVモニタリング光二極管
S8553は真空紫外線領域で敏感である.特にエクシマーレーザー (ArF: 193 nm,KrF: 248 nm)
のモニタリングに適している.
VUV領域での使用に最適化された設計により,以前の製品と比較して,VUV光照射感度が安定します.
特徴
エキシマーレーザーの信頼性が向上 (ArF: 193nm, KrF: 248nm)
- 光感受性の高い面積: 18 × 18 mm
- 窓のないパッケージ: 25.5 × 25.5 mm セラミックパッケージ
光敏感領域 | 18 × 18 mm |
パッケージ | 陶器 |
パッケージカテゴリー | 密封されていない |
冷却 | 冷めない |
逆電圧 (最大) | 5V |
スペクトル応答範囲 | 190~1000nm |
光敏感性 (典型) | 0.06 空気/W |
暗黒電流 (最大) | 5000パ |
上昇時間 (典型) | 18 μs |
端末容量 (典型) | 8000 pF |