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携帯用および静止したMEMS GM 102Bの二酸化窒素の探知器
携帯用および静止した二酸化窒素の探知器MEMSの二酸化窒素センサーGM-102B
特徴:
MEMSの二酸化窒素のガス センサーはSiの基質のマイクロ熱い版を製造するのにMEMSプロセスを使用する。使用されるガスに敏感な材料はクリーン エアーの低い伝導性の金属酸化膜半導体材料である。検出されたガスが周囲の空気にある時、センサーの変更の伝導性。より高いガス、より高いの集中センサーの伝導性。簡単な回路がガスの集中に相当して出力信号に伝導性の変更を変えるのに使用されている。
主要出願
携帯用および静止した二酸化窒素の探知器
MEMSプロセス、強い構造、二酸化窒素への高い感受性を採用しなさい
小型、低い電力の消費、高い感受性、速い応答の回復
運転回路は簡単な、安定した長い生命である
指定:
製品タイプ | MEMSの一酸化炭素ガス センサー |
標準パッケージ | 陶磁器パッケージ |
検出のガス | 二酸化窒素 |
検出の集中 | 0.1-10ppm (NO2) |