製品詳細
半導体の陶磁器の端-シリコーンのウエファーを扱うための真空チャネルが付いている作動体
半導体の陶磁器のEチャックの製品の説明
プロダクト:チャックおよびウエファーのend-effectors
チャックがおよびend-effectorsは全工程によってシリコンの薄片を処理し、運ぶのに使用されている。製陶術の化学inertnessはそれらの部品が化学ぬれたエッチングの浴室のウエファーのために汚染なしであるように特にする。
これらの項目は大型のウエファーの処理を可能にし、真空チャネルによって部品を握るために設計することができる。
適用
陶磁器の部品は次の半導体のプロセス用機器で使用することができる:
- 沈殿およびイオン インプラント機械
- 化学ぬれたエッチング装置
- 失敗分析機械
- 静電気のチャック
プロダクト
Mingruiは次のプロダクトを提供できる:
- 静電気のチャック(Eチャック)のための絶縁体の版
- 熱のチャックのための支承板
- End-effectors
材料
最も一般的な陶磁器材料は次のとおりである:
- アルミナ–または酸化アルミニウム– 99,6%の最低
- 焼結させるおよびCVC炭化ケイ素。
陶磁器の端-作動体、Endeffector、Endeffectors、ウエファーのキャリア、ウエファーのチャック、ウエファーの積み込み用具、ウエファー用具:NetMotion、Inc.のウェブサイト
半導体の陶磁器の腕のキーワード及び札
ウエファーのチャック/端-作動体より多くの細部は、モデル設計特性およびアプリケーション ノートの特性及びアプリケーション
ノートの端をここにかちりと鳴らす-を作動体Netmotionのアルミナ、連続comminicationのコントローラー、半導体の供給、Fabsのアルミナの管、Microstepモーター、ステッピング
モーターの運転者、モーター コントローラー、段階的な発振器の運転者、半導体の製作プロダクト、クリーン ルーム プロダクト、クリーン
ルーム、Clea htmファイルwhの作動体特色にする
製陶術に質の部品にとって理想的な優秀な機械、電気の、および熱特性がある。ファイン
セラミックスの耐久性はそれを研摩および化学的に粗い環境にである機械および熱負荷にとって理想的にさせる。 |
| - 標準的なかいおよびフォークの設計
- 4"、5"、6"、8"および12"のためウエファー
- 真空およびnon-vacuum
- 高温抵抗
- 化学抵抗
- 耐久および信頼できる
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標準12"および8"上塗を施してあるアルミナの端-作動体 |
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標準的なアルミナのかい設計4" ~12" | 標準的なアルミナのフォークの設計4" | 8つ | | | サイズ | 部品番号 | 4" | CEFV04PA | 6" | CEFV06PA | 8" | CEFV08PA | 12" | CEFV12PA |
| サイズ | 部品番号 | 4" | CEFV04FK | 6" | CEFV06FK | 8" | CEFV08FK |
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タイプの陶磁器 | 純度 | 色 | 真空 | Non-Vacuum | アルミナ | 99.5% | 白い | はい | はい | アルミナ | 99.6% | クリーム | はい | はい | アルミナ | 99.9% | クリーム | いいえ | はい | 炭化ケイ素(SiC) | 98.0% | 黒い | はい | はい |
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特性及びアプリケーション ノート |
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陶磁器の端-作動体の特性 | 特性 | アルミナ | 炭化ケイ素(SiC) | 純度 | 99.9% | 99.6% | 99.5% | 98.0% | 化学成分 | A1203 | A1203 | A1203 | SiC | 色 | アイボリー | 暗いアイボリー | 白い | 黒い | 密度(g/cm3) | 3.95 | 3.94 | 3.94 | 3.14 | Flexural強さ(kg/mm2) | 40 | 38 | 45 | 51 | Vickerの硬度 | 1,800 | 1,500 | 1,500 | 3,100 | 若い比率(104kgf/mm2) | 3.9 | 4 | 3.9 | 4.2 | 構成の強さ(MN/m3/2) | 4 | 4 | 4 | 2.4 | (10-6)熱膨張率 | 7.9 | 8 | 8 | 3.4 | 熱伝導性(Cal/sec/cm) | 0.07 | 0.07 | 0.07 | 0.33 | 容積抵抗(>&=cm) | >10-14 | >10-14 | >10-14 | 106 | 比誘電率 | 10.5 | 11 | 11.5 | -- | 誘電正接(10-4つのMHz) | -- | 8.0 | 4.8 | -- | 絶縁破壊電圧(kv/mm) | 15 | 13 | 15 | -- |
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アプリケーション ノート |
| ロボット工学では、end-effectorはロボット腕の端に接続される装置または通行料である。端の構造-作動体(左右の図を見なさい)、およびそれを運転するプログラミングおよびハードウェアの性質は意図されていた仕事によって、決まる。 ロボット腕は補助的なハードウェアおよび/またはプログラミングへの変更なしである特定のend-effectorの仕事モードだけ収容できる。直接スクリュードライバーの頭部によってグリッパーを、例えば取り替えることはでし、可能好ましい結果を期待する。ロボット
コントローラーのプログラミングを変え、であり力を握るよりもむしろトルクを促進するのに別の一組のend-effectorモーターを使用することは必要。それからグリッパーは運転者の頭部によって取り替えることができる。 | |
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端-作動体は位置の間で半導体ウエハーを扱い、動かすロボット腕の端を構成する。それは基本的にロボットの手である従って熱的にそして大きさに関して安定しているそして部屋を粒子か化学汚染物と汚染しないためにことは重要である。
陶磁器の端-作動体は剛さのために使用され、高力、ロボット腕を意味することはアルミニウムと速いより最終的な位置に解決する。さらに、ロボットの動き自体はより速く、最大限に活用し正確さを置き、効率を高める。
陶磁器材料はさらされる沈殿化学に基づいて選ばれる。例えば、血しょうが使用されれば、最低の99.5%アルミナは使用されなければならない。
ガス化学の同じ考察は血しょう腐食プロセスのための内部材料を定めるために必要である。陽極酸化されたアルミニウムまたはアルミナの部屋がfluorinatedガスか酸素血しょうと薬品による腐食を防ぐのに使用されればtheanodisedアルミニウム壁でyttriaのコーティングが使用されるかもしれない。Yttriaにアルミナか熱スプレーのアルミナのコーティングと比較される優秀な腐食抵抗および低いparticulationがある。
関連製品の写真:
産業陶磁器Intriduction
酸化アルミニウム、Al2O3は最も広く応用および費用効果が大きい技術的な陶磁器材料である。それは優秀な機械強さの組合せを提供し、電気特性は、耐久性および耐食性を。最高の働く温度は比較的高い熱伝導性の1700まで°Cである。それはまた高い電気抵抗の電気で絶縁体である。よい耐食性はそれを水で不溶解性および強い酸およびアルカリ解決でわずかに溶けるようにする。
会社の紹介
Mingruiの陶磁器の製造は実際の適用に従って機械設備、電子及び電気、石油開発、医学、化学工業等および顧客の要求のような広い応用範囲にアルミナの陶磁器の部品を提供し、純度は95%-99.7%から変わり、形成方法は異なっている。私達の植物で適用される形成方法は乾燥した押すことがの地殻均衡の注入鋳造物、放出鋳造物押すこと含まれている。ベテラン
エンジニアおよび有能な労働者で良質、高精度、顧客のための複雑な部品を世界的に提供するために、私達は確信している。
FAQ
Q:あなた商事会社または製造業者はであるか。
:私達は工場である。
Q:どの位あなたの受渡し時間はあるか。
:通常それは商品が在庫にあれば5-10日である。またはそれは量に従って商品が在庫になければ15-20日、それあるである。
Q:サンプルを提供するか。それまたは余分は自由にあるか。
:はい、私達は自由電荷のためのサンプルを提供できたが、貨物の費用を支払わない。
Q:あなたの支払い条件は何であるか。
:Payment=1000USD<>、先立って30% T/T、郵送物の前のバランス。
他のどの質問もあれば、plsは私達に連絡して自由に感じる。
会社概要
トンコワンMing
Ruiの陶磁器の技術Co.、株式会社の機械で造られた陶磁器の部品の専門の製造業者に、技術者の10人の上級エンジニアそして多くがある。私達は増強された構造のジルコニア陶磁器棒、陶磁器の管、陶磁器シャフト、陶磁器の版、陶磁器の袖、陶磁器弁、陶磁器のプランジャーおよび陶磁器の腕を作り出す。プロダクトは器械に適当、医療機器、時計および電子プロダクト、製造所、エネルギーおよび力、機械および金属、オートカー・ジャパンおよび軍隊および他のある上限区域である。
清華大学と協同して、私達は大きい成功の条件を特に達成した。機械で造られた陶磁器の部品の私達の専門知識およびビジネス経験によって、low-budgetおよび高性能新しい陶磁器プロダクトは良質の原料から成っている。私達の陶磁器プロダクトの価値は合成の技術および精密な処理が増加された原因非常にである。
私達の高性能は私達の専門家によって機械で造られた陶磁器の技術の陶磁器の部分、完全なサービスおよびよい評判の根、持続可能な発展のための連続的な革新、大きい誠意および私達の追求機械で造った。私達に明るさ、色、私達の陶磁器の部品の滑らかさを改善した「磨く」とミラー呼ばれる独特なtechnnologyがある。